[发明专利]一种柔性有机发光二极管显示器及其制作方法有效
申请号: | 201710293526.7 | 申请日: | 2017-04-28 |
公开(公告)号: | CN107123751B | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 金江江;徐湘伦 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 有机 发光二极管 显示器 及其 制作方法 | ||
1.一种柔性有机发光二极管显示器的制作方法,其特征在于,包括:
在柔性衬底上依次形成主动阵列层;
在所述主动阵列层上涂布有机负性光阻材料,以得到光阻层;
对所述光阻层进行图案化处理,以形成多个像素定义单元;
在相邻两个像素定义单元之间形成发光主体层,所述发光主体层包括阳极、空穴传输层、空穴注入层以及发光层;
采用有机溶剂将所述像素定义单元剥离;
在所述发光主体层上形成导体传输层,该导体传输层包括电子传输层、电子注入层以及阴极;以及
在所述导体传输层上形成封装层。
2.根据权利要求1所述的柔性有机发光二极管显示器的制作方法,其特征在于,所述光阻层的厚度范围为0.5μm-2μm。
3.根据权利要求1所述的柔性有机发光二极管显示器的制作方法,其特征在于,所述在所述导体传输层上形成封装层的步骤包括:
在所述导体传输层上依次形成第一有机层、第一无机层、第二有机层以及第二无机层。
4.根据权利要求3所述的柔性有机发光二极管显示器的制作方法,其特征在于,所述第一有机层的厚度范围和所述第二有机层的厚度范围都为1μm-12μm。
5.根据权利要求3所述的柔性有机发光二极管显示器的制作方法,其特征在于,所述第一有机层的材料为低温热固化型化合物或紫外光固化型化合物。
6.根据权利要求3所述的柔性有机发光二极管显示器的制作方法,其特征在于,所述第一无机层的厚度范围和所述第二无机层的厚度范围都为0.5μm-1μm。
7.根据权利要求3所述的柔性有机发光二极管显示器的制作方法,其特征在于,所述第一无机层的材料包括锆铝酸盐、石墨烯、氧化铝、二氧化锆、过氧化锌、氮化硅、硅碳氮、SiOx、二氧化钛以及类金刚石中的至少一种。
8.根据权利要求3所述的柔性有机发光二极管显示器的制作方法,其特征在于,所述方法还包括:
在所述第二无机层上依次形成第三有机层和第三无机层。
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