[发明专利]一种空冷装置缓蚀剂、其制备方法及其应用

权利要求书

1.一种空冷装置缓蚀剂，其特征在于：其原料组分包括：氯代物5~15份，有机胺17.5份或17份或14或15.5份或24.5份或16.5份，多胺0~5份，醇类3.5~20份和去离子水45~70份，所述份数为质量份数；多胺不为0；

氯代物为氯辛烷、氯代十二烷、氯代十四烷或氯化苄中的至少一种；

有机胺为十二烷基二甲基叔胺、十四烷基二甲基叔胺、十六烷基二甲基叔胺或N,N-二甲基苄胺中的至少一种；

多胺为二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺或五乙烯六胺中的至少一种；

醇类为乙醇、丙醇或异丙醇中的至少一种；

所述空冷装置缓蚀剂的制备方法包括顺序相接的如下步骤：

1）将氯代物和有机胺搅拌均匀；

2）将步骤1）所得物料在为30℃~80℃的条件下，反应1~6小时；

3）将步骤2）所得物料冷却至5~30℃，加入多胺、醇类和去离子水，混匀，即得空冷装置缓蚀剂。

2.权利要求1所述的空冷装置缓蚀剂的应用，其特征在于：空冷装置使用初期十天为成膜期，成膜期空冷装置缓蚀剂的加注量为100PPm；十天后为平稳期，平稳期的加注量为10-20PPm。