[发明专利]一种坩埚轴升降装置

权利要求书

1.一种坩埚轴升降装置，用于驱动坩埚轴进行升降运动，其特征在于，所述升降装置包括：一驱动部件、一底盘、至少两个升降部件以及传动机构，所述至少两个升降部件为三个螺杆，

所述驱动部件与三个所述螺杆连接，用于驱动三个所述螺杆，所述驱动部件通过所述传动机构与每个所述螺杆连接；

三个所述螺杆与所述底盘连接，用于驱动所述底盘进行升降运动；

所述底盘，用于连接坩埚轴；

所述传动机构包括一第一传动杆、两个第二传动杆及两个第三传动杆；所述驱动部件与所述第一传动杆连接，两个所述第二传动杆均与所述第一传动杆连接，每个第二传动杆对应连接一第三传动杆，两个所述第三传动杆分别对应连接一螺杆，所述第一传动杆连接另一螺杆；所述驱动部件驱动所述第一传动杆旋转，所述第一传动杆带动两个所述第二传动杆旋转，每个所述第二传动杆带动各自所连接的第三传动杆旋转，每个所述第三传动杆带动各自所连接的螺杆旋转。

2.如权利要求1所述的坩埚轴升降装置，其特征在于，所述底盘上具有三个螺纹孔，每个螺杆均通过一螺纹孔与所述底盘连接，所述驱动部件驱动所有螺杆同时旋转，从而通过螺纹传动的方式驱动所述底盘进行升降运动。

3.如权利要求2所述的坩埚轴升降装置，其特征在于，两个第二传动杆均与所述第一传动杆通过齿轮啮合连接。

4.如权利要求2所述的坩埚轴升降装置，其特征在于，每个第二传动杆均与所连接的第三传动杆通过万向节连接。

5.如权利要求2所述的坩埚轴升降装置，其特征在于，每个第三传动杆均通过蜗轮蜗杆机构与对应的螺杆连接。

6.如权利要求2所述的坩埚轴升降装置，其特征在于，还包括施压装置，所述施压装置与所述底盘连接，用于减弱所述底盘的震动。

7.如权利要求6所述的坩埚轴升降装置，其特征在于，所述施压装置包括：一震动探测装置、一控制器、一油泵、一油缸安装盘以及至少一个油缸；

所述震动探测装置被设置于所述坩埚轴上，所述震动探测装置与所述控制器连接，所述控制器与所述油泵连接，所述油泵与所述至少一个油缸连接，所述至少一个油缸安装在所述油缸安装盘上，所述至少一个油缸与所述底盘连接；所述油缸安装盘位于所述底盘上方，并与每个螺杆均连接，并可沿螺杆上升或下降；

所述震动探测装置探测所述坩埚轴的震动幅度，当该震动幅度大于预设值时，所述控制器控制所述油泵给所述至少一个油缸供油，使所述至少一个油缸给所述底盘施加作用力。

8.如权利要求7所述的坩埚轴升降装置，其特征在于，所述油缸安装盘具有至少两个螺孔，所述油缸安装盘通过位于所述油缸安装盘上的至少两个螺孔与所述至少两个螺杆旋合在一起。

9.如权利要求7或8所述的坩埚轴升降装置，其特征在于，所述油缸安装盘具有一坩埚轴穿孔，所述坩埚轴穿过所述坩埚轴穿孔与所述底盘连接。