[发明专利]用于限制基板滑动的定位销及真空手臂

权利要求书

1.一种用于限制基板滑动的定位销，其特征在于，包括定位销本体(1)，所述定位销本体(1)构造为弧形结构，所述定位销本体(1)的一端为用于限制所述定位销本体(1)滑动的限位端(11)，所述定位销本体(1)的另一端为用于使所述定位销本体(1)转动的转动端(12)。

2.根据权利要求1所述的用于限制基板滑动的定位销，其特征在于，所述转动端(12)上设置有用于与真空手臂相连的延伸部(2)。

3.根据权利要求2所述的用于限制基板滑动的定位销，其特征在于，所述延伸部(2)的两侧延伸出转动轴(3)。

4.根据权利要求3所述的用于限制基板滑动的定位销，其特征在于，还包括用于使所述定位销本体(1)转动的驱动装置，所述驱动装置与所述转动轴(3)相连。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的用于限制基板滑动的定位销，其特征在于，定位销本体(1)上位于所述限位端(11)与所述转动端(12)之间的部分的弯曲方向为朝向远离基板的方向。

6.根据权利要求1-4中任意一项所述的用于限制基板滑动的定位销，其特征在于，所述定位销本体(1)的内壁为一圆弧面，所述圆弧面的径向剖面中的圆心角为30°-90°。

7.根据权利要求1-4中任意一项所述的用于限制基板滑动的定位销，其特征在于，所述定位销本体(1)的高度为8-10mm。

8.根据权利要求2-4中任意一项所述的用于限制基板滑动的定位销，其特征在于，所述延伸部(2)为竖直的连接板。

9.一种真空手臂，其特征在于，包括手臂本体(5)和上述权利要求1-8中任意一项所述的用于限制基板滑动的定位销，所述定位销位于所述手臂本体(5)上并与所述手臂本体(5)转动连接。

10.根据权利要求9所述的真空手臂，其特征在于，所述手臂本体(5)上至少设置有两个相对的所述定位销本体(1)，两个相对的所述定位销本体(1)的转动方向相反。