[发明专利]无碱玻璃基板及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710255130.3 申请日: 2017-04-18
公开(公告)号: CN107129142B 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 张广涛;王俊峰;李刚;闫冬成;王丽红;郑权 申请(专利权)人: 东旭光电科技股份有限公司
主分类号: C03C3/095 分类号: C03C3/095;C03C3/087;C03C3/085;C03C3/083;C03C1/00
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 严政;刘依云
地址: 050035 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 玻璃 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种无碱玻璃基板,其特征在于,所述无碱玻璃基板在浓度为10重量%的HF溶液中的侵蚀量大于等于3.86mg/cm2且小于5.5mg/cm2

以无碱玻璃基板的组成中各组分的总摩尔量为基准,所述无碱玻璃基板的组成由:70-74mol%的SiO2、11-14mol%的Al2O3、0-2.5mol%的ZnO、10-17mol%的RO和0.01-2mol%的RE2O3组成,所述无碱玻璃基板的组成中不含B2O3

其中,所述RO为MgO、CaO、SrO和BaO中的至少一种;

所述RE2O3为Y2O3、La2O3、Gd2O3、Ce2O3、Yb2O3和Lu2O3中的至少一种;

以无碱玻璃基板的组成中各组分的总摩尔量为基准,所述无碱玻璃基板的组成中各组分的含量按摩尔百分比计算满足C值的范围为0.86-1.12,其中,C值由下式计算得出:

C=0.5×SiO2+P1×Al2O3+P2×(CaO+SrO)+P3×(MgO+BaO+ZnO)+P4×RE2O3

其中,0.8≤P1≤1.3,7≤P2≤10,1.5≤P3≤3,-35≤P4≤-20,

SiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、RE2O3各自代表该组分占无碱玻璃基板组成中的摩尔百分比;

以无碱玻璃基板的组成中各组分的总摩尔量为基准,所述无碱玻璃基板的组成中各组分的含量按摩尔百分比计算满足:0.8≥(MgO+BaO)/ΣRO≥0.58,其中,ΣRO表示MgO、CaO、SrO和BaO的摩尔百分比之和。

2.根据权利要求1所述的无碱玻璃基板,其特征在于,所述无碱玻璃基板在10重量%的HF溶液中的侵蚀量为4.5-5.5mg/cm2

以无碱玻璃基板的组成中各组分的总摩尔量为基准,所述无碱玻璃基板的组成由:70.4-73mol%的SiO2、11.3-13mol%的Al2O3、0-2.2mol%的ZnO、12.6-16.7mol%的RO和0.01-0.7mol%的RE2O3组成。

3.根据权利要求1或2所述的无碱玻璃基板,其特征在于,以无碱玻璃基板的组成中各组分的总摩尔量为基准,所述无碱玻璃基板的组成中各组分的含量按摩尔百分比计算满足:SiO2+Al2O382mol%。

4.根据权利要求1或2所述的无碱玻璃基板,其特征在于,以无碱玻璃基板的组成中各组分的总摩尔量为基准,所述无碱玻璃基板的组成中各组分的含量按摩尔百分比计算满足:CaO/(CaO+SrO)≥0.4。

5.根据权利要求4所述的无碱玻璃基板,其特征在于,以无碱玻璃基板的组成中各组分的总摩尔量为基准,所述无碱玻璃基板的组成中各组分的含量按摩尔百分比计算满足:CaO/(CaO+SrO)≥0.5。

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