[发明专利]一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路

说明书

本发明公开了一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，所述接口电路包括：电荷转换器电路、PI控制器电路、差分驱动电路，MEMS加速度计的检测正极SP和检测负极SN分别输入相位相反的脉冲电压，MEMS加速度计的驱动正极和驱动负极分别接差分驱动电路的两个输出端，MEMS加速度计中间电极MASS接电荷转换器电路的输入端；电荷转换器电路的输出端接PI控制器电路的输入端；PI控制器电路的输入为单端输入，输出为差分输出，PC控制器电路的输出接差分驱动电路的输入端，实现了全部控制系统的单片集成，无需外部分立器件，结构更简单，功耗、噪声更低的技术效果。

技术领域

本发明涉及MEMS加速度计领域，具体地，涉及一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路。

背景技术

MEMS加速度计主要用于测量运动物体相对于惯性空间的加速度，由于其体积小、功耗低、易集成、可批量生产等特点，使其在汽车工程、振动检测、航空导航和军事应用等场合中发挥着越来越重要的作用。

MEMS加速度计根据其工作原理可以分为开环加速度计和闭环加速度计。开环加速度计通过测量质量块位移变化导致的电容变化来测量加速度，精度较低、线性度差。闭环加速度计也称为力平衡加速度计，其工作原理是：当惯性力作用在质量块上时，闭环系统检测质量块位移，并产生与惯性力大小相等、方向相反的静电力，抵消惯性力，使质量块始终处于平衡位置。闭环加速度计因其工作原理，线性度高、噪声低，非常适合于地震监测、倾角测量等高精度测量。

目前比较常用的闭环加速度计接口电路包括：全模拟的PID闭环控制方式和数模混合的Delta-sigma闭环控制方式；相对Delta-sigma闭环控制方式，PID闭环结构简单、功耗低、技术成熟可靠；由于高精度闭环MEMS加速度计谐振频率很低，一般在一两千赫兹左右，传统的PID闭环加速度计中，积分或者微分电路中所需电容很大，无法在ASIC内集成，通常需要采用分立器件，不利于小型化和系统集成。

发明内容

本发明提供了一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，解决了传统的PID闭环加速度计中，无法在ASIC内集成，不利于小型化和系统集成的技术问题，实现了全部控制系统的单片集成，无需外部分立器件，结构更简单，功耗、噪声更低的技术效果。

为解决上述技术问题，本申请提供了一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，整个系统包括：MEMS加速度计1、电荷转换器电路2、PI控制器电路3和差分驱动电路4。

MEMS加速度计1的检测正极SP和检测负极SN分别输入相位相反的脉冲电压，MEMS加速度计1的驱动正极和驱动负极分别接差分驱动运放4的两个输出端，MEMS加速度中间电极MASS接电荷转换器电路2输入端；电荷转换器电路2输出端接PI控制器电路3输入端；PI控制器电路3输入为单端输入，输出为差分输出，PC控制器电路3输出接差分驱动电路4的输入端。

其中，电荷转换器电路2为本发明核心电路之一。电荷转换器电路2的输入端VI_CSA接电阻R1的正端和电容C1的正端；电阻R1的负端接模拟参考电压REF1；电容C1的负端与NMOS管MN1的栅极和电容C2的正端相连；MN1的源极接到模拟地，漏极接电流源I_s1负端；电流源I_s1正端与电源相连；电流源I_s1负端和C2的负端、MN1的漏极一起接到电路转换器输出端VO_CSA。

其中，PI控制器电路3为本发明核心电路之一。PI控制器电路的输入端VI_PI接到电容C3的正端；C3的负端分别和开关PH1、PH2和PH3的输入端相连；开关PH1的输出端与电阻R2的正端相接，与运放OP1的负输入端相接；开关PH2的输出端与电阻R3的正端相接，与运放OP2的负输入端相接；开关PH3的输出端和运放OP1、OP2的正输入端一起接到共模地；R2的正端与电容C4的正端相连；C4的负端与运放OP1的输出端相连，并接到PI控制器电路3的输出正极；R3的正端与电容C5的正端相连；C5的负端与运放OP1的输出端相连，并接到PI控制器电路3的输出负极。