[发明专利]缺陷检查方法和缺陷检查系统

说明书

一种缺陷检查方法和缺陷检查系统，通过简单的构成容易且准确地检测被检查物的缺陷。缺陷检查方法包括：对被检查物(W)进行拍摄从而得到拍摄图像的工序；和将拍摄图像的像素的颜色分量配置于将红、绿、蓝中的两种颜色分量作为纵轴和横轴的二维分布图上的工序。在二维分布图上，分割为缺陷分布区域的像素与噪声分布区域的像素，选拔所分割出的缺陷分布区域的像素。将选拔出的像素应用到像素原来所处的位置来生成限定拍摄图像，使用限定拍摄图像进行缺陷检查。

技术领域

本实施方式涉及使用图像处理技术来对拍摄图像的缺陷进行检查的缺陷检查方法和缺陷检查系统，特别是涉及简单地区分图像中的缺陷与噪声来对真正的缺陷进行检测的缺陷检查方法和缺陷检查系统。

背景技术

一直以来，作为使用CCD相机等拍摄装置对被检查物的表面进行拍摄并基于该拍摄图像来对缺陷进行检查的缺陷检查方法，已知有各种方法。

然而，任何缺陷检查方法均存在如下问题：需要复杂的图像处理，并且不能那么清晰地对缺陷进行检测。

发明内容

发明要解决的问题

本实施方式是考虑了这一点而完成的，其目的在于，提供一种能够通过简单的构成容易且准确地检测被检查物的缺陷的缺陷检查方法和缺陷检查系统。

用于解决问题的技术方案

本实施方式是一种缺陷检查方法，其特征在于，包括：将光照射到被检查物的表面的照明工序；对被检查物的表面进行拍摄从而得到拍摄图像的拍摄工序；从拍摄图像中提取出应该检测缺陷的缺陷分布区域和不需要检测缺陷的噪声分布区域，并将处于各区域的像素的颜色分量配置于以红、绿、蓝中的两种颜色分量作为纵轴和横轴的二维分布图上的配置工序；在二维分布图上由分割直线将构成缺陷分布区域的像素与构成噪声分布区域的像素分割开的分割工序；选拔出在二维分布图上被分割直线分割开的两个区域中的属于缺陷分布区域侧的像素的选拔工序；将在选拔工序中选拔出的像素应用到拍摄图像中该像素原来所处的位置而生成限定拍摄图像的限定工序；以及使用限定拍摄图像来执行缺陷检查的检查执行工序。

本实施方式是一种缺陷检查方法，其特征在于，光是白色光。

本实施方式是一种缺陷检查方法，其特征在于，光是不同的两种以上颜色的光。

本实施方式是一种缺陷检查方法，其特征在于，光是不同颜色的第1 色光、第2色光、第3色光。

本实施方式是一种缺陷检查方法，其特征在于，第1色光、第2色光、第3色光分别是红、绿、蓝中的任意一种。

本实施方式是一种缺陷检查方法，其特征在于，在照明工序中，对被检查物照射第1色光、第2色光、第3色光的位置的高度不同。

本实施方式是一种缺陷检查方法，其特征在于，在二维分布图的纵轴设为y、横轴设为x且a和b设为实数时，分割直线由一次式y＝ax+b表示。

本实施方式是一种缺陷检查系统，其特征在于，具备：将光照射到被检查物的表面的照明装置；对被检查物的表面进行拍摄从而得到拍摄图像的拍摄装置；以及对来自拍摄装置的拍摄图像实施图像处理来进行缺陷检查的缺陷检查装置，缺陷检查装置具备：配置部，其从拍摄图像中提取出应该检测缺陷的缺陷分布区域和不需要检测缺陷的噪声分布区域，并将处于各区域的像素的颜色分量配置于以红、绿、蓝中的两种颜色分量作为纵轴和横轴的二维分布图上；分割部，其在二维分布图上通过分割直线将构成缺陷分布区域的像素和构成噪声分布区域的像素分割开；选拔部，其选拔出在二维分布图上被分割直线分割开的两个区域中的属于缺陷分布区域侧的像素；限定部，其将在选拔工序中选拔出的像素应用到拍摄图像中该像素原来所处的位置而生成限定拍摄图像；以及检查执行部，其使用限定拍摄图像来执行缺陷检查。

本实施方式是一种缺陷检查系统，其特征在于，光是白色光。