[发明专利]输送控制装置及输送台车的合流点通过方法

说明书

由输送控制装置执行以下步骤：合流点附近区域进入探测控制步骤，探测对设定在输送路径所包含的各合流点附近的合流点附近区域的进入；障碍物探测步骤，探测在该输送台车的周边是否存在障碍物；无线通信步骤，若探测到对各合流点附近区域的进入，则使用按每个合流点设定为不同值的共同的频带及共同的识别代码在其他输送台车与本地进行无线通讯；以及合流点通过控制步骤，当由障碍物探测步骤探测到在所述合流点附近区域存在其他输送台车时启动无线通信步骤，在通过无线通信步骤与其他输送台车的信号交换成立后按照按每个对该合流点的进入路径设定的优先次序通过合流点。

技术领域

本发明关于输送控制装置及输送台车的合流点通过方法。

背景技术

在半导体器件的制造设备中，为了在各制造装置间自动输送半导体晶圆，使用对承载于设在各制造装置的装载端口（Load port）上的收纳多块半导体晶圆的晶圆承载器（Carrier）进行输送的输送台车。

输送台车由沿着为避免与人或机械的接触而设置在制造设备的上部空间的行驶导轨、即轨道而自驱动的行驶部、和被行驶部支撑的物品收纳部构成，组入有使具备夹住输送对象物的夹紧（Chuck）机构的升降体沿着既定的升降路径升降的升降机构。

轨道构成为不仅具备单纯的直线部，也具备曲线、分支部、合流部等的复杂的形状，以按照制造设备的布局输送晶圆承载器，多个输送台车行驶于同一轨道。

近年，为了提高晶圆承载器的输送效率，要求许多输送台车高速行驶于同一轨道，与之相伴在轨道的合流点对输送台车进行有效率的行驶控制成为必要。

在专利文献1（日本国的公开特许公报即特开昭63－73303号公报）中，公开了自动操纵车辆的交叉点控制方式。自动操纵车辆设有：探测对交叉点区的到达或通过的探测单元；接收存在于符合的交叉点区内的其他自动操纵车辆的电波的接收单元；基于由接收单元接收的电波识别交叉点区内有没有存在其他自动操纵车辆的单元；判断进入交叉点的优先顺序，防止多台自动操纵车辆进入交叉点区的单元；以及直至进入交叉点区而通过为止以预先设定的周期间歇地发送的发送单元。

如图8所示，在行驶路径设定有包围交叉点的交叉点区P1和交叉点区P1的跟前侧的进入确认区S1，在各个区的正前面位置配置有由利用自动操纵车辆所具备的探测单元能够探测的光反射带构成的探测体b1、b2。此外，图8所示的标号与在“具体实施方式”一栏中使用的标号无关联性。

关于自动操纵车辆，若利用探测单元判断出自己车辆进入了进入确认区S1，则利用接收单元确认有没有从其他自动操纵车辆发送的电波。电波的频率按每个交叉点区P1设定为不同值，因此基于频率能辨别在符合的交叉点区P1是否存在其他自动操纵车辆。在判断为在符合的交叉点区P1不存在其他自动操纵车辆的情况下，在进入交叉点区P1、直至通过为止的期间，以按每个自动操纵车辆设定的固有的周期间歇地发送在该交叉点设定的频率的电波。

在判断为在符合的交叉点区P1存在其他自动操纵车辆的情况下，在交叉点区P1的正前面停止直至来自其他自动操纵车辆的电波中断为止，若电波中断则进入交叉点区P1。

在交叉点区P1的正前面停止多个自动操纵车辆的情况下，以按每个自动操纵车辆设定的固有的周期交替地进行固定时间的发送和剩余时间的接收，在接收来自其他自动操纵车辆的发送的期间维持停止状态。这样处理，以多个自动操纵车辆不会进入交叉点区P1的方式相互控制。

在专利文献2（日本国的公开特许公报即特开2000－250627号公报）中，公开了无人输送车的行驶控制方法，虽然确实地防止了2台无人输送车同时向合流区域内进入的情况，但是能够控制成为使许多台无人输送车尽可能迅速地进入合流区域内而提高输送效率。

该无人输送车的行驶控制方法是共用输送路径而使多台无人输送车行驶，并且在无人输送车间相互进行利用无线电的通讯而一边限制互相的行驶一边行驶的方法，如以下那样构成。