[发明专利]一种加速度敏感器及加速度计

权利要求书

1.一种加速度敏感器，包括基座、悬臂梁和通过所述悬臂梁固定在所述基座上的质量块；其特征在于，

所述质量块的形状为中心对称形状；

所述悬臂梁包括四个L型臂，其中各所述L型臂的长臂连接所述基座，所述L型臂的短臂连接所述质量块，且任意相邻两个所述L型臂呈轴对称设置。

2.如权利要求1所述的加速度敏感器，其特征在于，所述悬臂梁、所述基座以及所述质量块为一体结构。

3.如权利要求1所述的加速度敏感器，其特征在于，所述悬臂梁、所述基座以及所述质量块的材料为碳化硅材料。

4.如权利要求3所述的加速度敏感器，其特征在于，所述碳化硅材料为6H-SiC单晶材料。

5.如权利要求1-4任一项所述的加速度敏感器，其特征在于，所述质量块的形状为矩形，且所述L型臂的短臂与所述质量块的连接点分别位于所述矩形的四个角附近。

6.如权利要求5所述的加速度敏感器，其特征在于，所述L型臂的长臂的长度为1700μm～1900μm，短臂的长度为450μm～550μm，臂宽为110μm～130μm。

7.一种加速度计，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的加速度敏感器。

8.如权利要求7所述的加速度计，其特征在于，还包括：与所述加速度敏感器相对且间隔设置的基板，封装所述加速度敏感器与基板的外封装结构，位于所述外封装结构外的光源、环形器、光电倍增管和信号处理电路；其中，

所述基板在与所述加速度敏感器中的质量块对应的区域贯穿有空心套管，且所述空心套管内有单模光纤，所述所述空心套管内的单模光纤的端面与质量块面向所述基板的一面之间形成EFPI腔；

所述光源通过单模光纤与所述环形器的第一端口相连，用于向所述环形器提供光；

所述环形器的第二端口通过单模光纤与所述空心套管内的模光纤相连，用于将所述光源提供给所述环形器的光通过所述空心套管内的单模光纤传输至所述质量块；

所述环形器的第三端口通过单模光纤与所述光电倍增管相连，用于将所述空心套管内的单模光纤接收的反射光提供给所述光电倍增管；

所述信号处理电路用于根据所述光电倍增管输出的信号计算加速度。

9.如权利要求8所述的加速度计，其特征在于，所述质量块背向基板一侧还设置有增透膜。

10.如权利要求9所述的加速度计，其特征在于，所述增透膜的材料为氮化铝。

11.如权利要求10所述的加速度计，其特征在于，所述增透膜的厚度为λ/8n_z、5λ/8n_z或9λ/8n_z，其中λ为所述光源的波长，n_z为所述增透膜的折射率。

12.如权利要求8-11任一项所述的加速度计，其特征在于，所述光源为波长1550nm的激光光源。

13.如权利要求8-11任一项所述的加速度计，其特征在于，所述基板的材料为派热克斯玻璃。

14.如权利要求8-11任一项所述的加速度计，其特征在于，外封装结构的材料为氧化铝陶瓷。

15.如权利要求8-11任一项所述的加速度计，其特征在于，还包括显示屏，用于显示所述信号处理电路计算所得的加速度。