[发明专利]一种处理光阻沉积的搅拌装置及光阻桶

权利要求书

1.一种处理光阻沉积的搅拌装置，其特征在于，包括：

套轴(13)、内伸缩轴(12)、搅拌组件和旋杆(11)；其中，

所述旋杆(11)安装在所述套轴(13)上端用于带动所述套轴(13)转动，所述搅拌组件设置在所述套轴(13)下端随着所述套轴(13)转动，所述内伸缩轴(12)以在上方贯穿所述套轴(13)且在下方不从所述套轴(13)突出的方式设置在所述套轴(13)内部与所述搅拌组件连接，用于控制所述搅拌组件开合，

在所述套轴(13)下部两侧均加工有豁口，

所述内伸缩轴(12)的下端安装有活动轴节(14)，两个连接片(15)设置在所述豁口内，两个所述连接片(15)上端分别与所述活动轴节(14)连接，两个所述连接片(15)下端分别与所述搅拌组件连接，

所述搅拌组件具有搅拌片(16)，所述搅拌片(16)在所述内伸缩轴(12)上提后能够被连接于所述活动轴节(14)的所述连接片(15)收起并穿过所述豁口而完全收纳于所述套轴(13)内，并且所述搅拌片(16)在所述内伸缩轴(12)下放后能够穿过所述豁口向水平方向展开，以实现不借助机械驱动力而手动地控制所述搅拌片(16)的收起和展开，并在所述搅拌片(16)展开后通过所述旋杆(11)手动地带动所述搅拌组件、所述套轴(13)以及内伸缩轴(12)整体地旋转。

2.根据权利要求1所述的处理光阻沉积的搅拌装置，其特征在于：所述搅拌组件包括两个结构相同的搅拌片(16)，两个所述搅拌片(16)对称设置；

所述搅拌片(16)一端为半圆形状另一端为垂直形状，凹槽(161)加工在所述搅拌片(16)上面一侧与所述半圆形状相连接。

3.根据权利要求2所述的处理光阻沉积的搅拌装置，其特征在于：两个所述搅拌片(16)撑开时呈“一”直线。

4.根据权利要求1所述的处理光阻沉积的搅拌装置，其特征在于：所述套轴(13)为圆桶形状。

5.根据权利要求1所述的处理光阻沉积的搅拌装置，其特征在于：两个所述连接片(15)为倾斜设置。

6.根据权利要求1所述的处理光阻沉积的搅拌装置，其特征在于：所述套轴(13)的高度小于所述内伸缩轴(12)的高度。

7.根据权利要求1所述的处理光阻沉积的搅拌装置，其特征在于：所述旋杆(11)为横向的“L”形状。

8.一种光阻桶，包括权利要求1至7任一项所述的处理光阻沉积的搅拌装置以及构造在桶体(20)上的光阻出口(22)，其特征在于：

在所述桶体(20)上还构造有供权利要求1至7任一项所述的处理光沉积的搅拌装置出入的圆口(21)。