[发明专利]一种浮栅忆阻器有效
申请号: | 201710177991.4 | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN107068708B | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 黄安平;张新江;胡琪 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | H01L27/24 | 分类号: | H01L27/24;H01L45/00 |
代理公司: | 北京慧泉知识产权代理有限公司 11232 | 代理人: | 王顺荣;唐爱华 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 浮栅忆阻器 | ||
1.一种浮栅忆阻器,其特征在于:该浮栅忆阻器的基本结构依次包括前电极,前介质层,前浮栅层,纳米电池阳极,纳米电池电解质,纳米电池阴极,后浮栅层,后介质层,后电极;其中前电极、前介质层、前浮栅层和纳米电池阳极模拟了突触前膜,利用电子隧穿和场效应将电子信号转化为离子信号,纳米电池电解质作为离子通道模拟了突触间隙,纳米电池阴极、后浮栅、后介质层和后电极模拟了突触后膜,将离子信号转化为电子信号。
2.根据权利要求1所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述前电极、后电极用于连接外部电源,厚度分别为20纳米~40纳米;所述前、后浮栅层厚度分别为4纳米~10纳米;所述前、后介质层均可分为电子隧穿层和电子阻挡层,靠近前、后电极部分是电子隧穿层,电子隧穿层厚度为2纳米~8纳米,靠近电池阴阳极部分是电子阻挡层,电子阻挡层厚度为6纳米~12纳米;前介质层加前浮栅层总厚度为12纳米~30纳米,后介质层加后浮栅层总厚度为12纳米~30纳米;所述纳米电池阳极厚度为4纳米~10纳米;所述纳米电池电解质厚度为6纳米~20纳米;所述纳米电池阴极厚度为4纳米~12纳米。
3.根据权利要求1所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述前、后电极,采用惰性电极。
4.根据权利要求3所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述的惰性电极为铂(Pt)或者金(Au)。
5.根据权利要求1所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述前、后浮栅层的材料为惰性金属、金属氮化物或掺杂半导体。
6.根据权利要求5所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述的惰性金属、金属氮化物或掺杂半导体包括铂(Pt)、金(Au)、掺杂多晶硅(Si)、氮化钽(TaN)中的一种。
7.根据权利要求1所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述前、后介质层均可分为电子隧穿层和电子阻挡层,靠近前、后电极部分是电子隧穿层,靠近电池阴阳极部分是电子阻挡层;前、后介质层材料为各种高K介质。
8.根据权利要求7所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述的高K介质包括二氧化钛(TiO2)、氮化硅(Si3N4)、二氧化铪(HfO2)、五氧化二钽(Ta2O5)、氧化锆(ZrO2)、氧化铝(Al2O3)、二氧化硅(SiO2)中的至少一种。
9.根据权利要求1所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述纳米电池阳极的材料为碱金属元素化合物、碱土金属元素化合物或半导体氧化物。
10.根据权利要求9所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:碱金属元素化合物、碱土金属元素化合物或半导体氧化物包括钛酸锂(Li4Ti5O12),多晶硅(Si),氧化钛(TiO2),氧化钒(V2O5)中的一种。
11.根据权利要求1所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述纳米电池电解质的材料为碱金属或碱土金属化合物。
12.根据权利要求11所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:碱金属或碱土金属化合物包括锂磷氧氮(LiPON)、钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNiO3)中的一种。
13.根据权利要求1所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述纳米电池阴极的材料为碱金属或碱土金属元素化合物。
14.根据权利要求13所述的一种浮栅忆阻器,其特征在于:所述的碱金属或碱土金属元素化合物包括钴酸锂(LiCoO2)、镍酸锂(LiNiO2)、锰酸锂(LiMn2O4)、磷酸亚铁锂(LiFePO4)中的一种。
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