[发明专利]利用压电致动的振荡结构、系统以及制造方法

权利要求书

1.一种利用压电致动的振荡结构(30)，所述振荡结构包括：

-第一扭转弹性元件(56)和第二扭转弹性元件(58)，所述第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件被限制到固定的支撑体(40)的对应部分并且限定旋转轴(O)；

-移动元件(55，57，60)，所述移动元件被布置在所述第一扭转弹性元件(56)与第二扭转弹性元件(58)之间并连接到所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件，由于所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件的扭转，所述移动元件围绕所述旋转轴(O)可旋转；

其中所述移动元件(55，57，60)包括：中心体(60)、在所述中心体(60)与所述第一扭转弹性元件(56)之间的第一连接区域(55)、以及在所述中心体(60)与所述第二扭转弹性元件(58)之间的第二连接区域(57)；

其中所述第一连接区域(55)和所述第二连接区域(57)中的每一个都具有比所述第一扭转弹性元件(56)和所述第二扭转弹性元件(58)中的每一个的扭转刚性常数高的扭转刚性常数；以及

-第一控制区域(66)，所述第一控制区域耦合到所述移动元件(55，57，60)并且容纳第一压电致动器(70)，所述第一压电致动器被配置成用于在使用中引起所述第一控制区域(66)的局部变形，所述局部变形生成所述第一扭转弹性元件(56)和所述第二扭转弹性元件(58)的扭转；

其中所述第一控制区域(66)相对于所述第一连接区域(55)和所述第二连接区域(57)被固定并且通过第一沟槽(61)与所述中心体(60)分开。

2.根据权利要求1所述的振荡结构，其中，所述第一连接区域(55)和所述第二连接区域(57)中的每一个的所述扭转刚性常数比所述第一扭转弹性元件(56)和所述第二扭转弹性元件(58)中的每一个的所述扭转刚性常数大至少一个数量级。

3.根据权利要求1所述的振荡结构，进一步包括第二控制区域(68)，所述第二控制区域耦合到所述移动元件(55，57，60)并且容纳第二压电致动器(72)，所述第二压电致动器被配置成用于在使用中引起所述第二控制区域(68)的局部变形，所述局部变形生成所述第一扭转弹性元件(56)和所述第二扭转弹性元件(58)的扭转，所述扭转与由所述第一压电致动器(70)在使用中生成的所述扭转相反。

4.根据权利要求3所述的振荡结构，其中，所述第二控制区域(66)相对于所述第一连接区域(55)和所述第二连接区域(57)被固定并且通过第二沟槽(62)与所述中心体(60)分开。

5.根据权利要求1所述的振荡结构，其中，所述中心体(60)容纳反射镜(65)，所述振荡结构形成微反射镜。

6.根据权利要求3所述的振荡结构，其中，所述第一控制区域(66)和所述第二控制区域(68)与所述移动元件(55，57，60)共面。

7.根据权利要求3所述的振荡结构，其中，所述第一控制区域(66)和所述第二控制区域(68)在与所述移动元件(55，57，60)所在的平面平行的、在与所述移动元件所在的所述平面垂直的方向上位于低于所述移动元件所在的所述平面的高度上的平面中延伸。

8.根据权利要求3所述的振荡结构，其中，所述第一控制区域(66)和所述第二控制区域(68)在与所述移动元件(55，57，60)所在的平面平行的、在与所述移动元件所在的所述平面垂直的方向上位于大于所述移动元件所在的所述平面的高度上的平面中延伸。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的振荡结构，进一步包括电子电路，所述电子电路操作性地耦合到所述第一压电致动器(70)，并且被配置成用于将所述第一压电致动器(70)偏置为驱动电压从而生成并维持所述移动元件(55，57，60)的振荡。

10.根据权利要求1所述的振荡结构，进一步包括被限制到所述移动元件并且被配置为反射光束的反射元件。