[发明专利]利用压电致动的振荡结构、系统以及制造方法有效
| 申请号： | 201710173576.1 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN107664836B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | R·卡尔米纳蒂;M·默利;S·康蒂 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了利用压电致动的振荡结构、系统以及制造方法。该振荡结构(30)包括：第一扭转弹性元件(56)和第二扭转弹性元件(58)，该第一扭转弹性元件和该第二扭转弹性元件被限制到固定的支撑体(40)的对应部分并且限定旋转轴(O)；移动元件(55，57，60)，该移动元件被设置在该第一与第二扭转弹性元件(56，58)之间并连接到该第一和第二扭转弹性元件，由于该第一和第二可变形元件的扭转，该移动元件可围绕该旋转轴(O)旋转；以及第一控制区域(66)，该第一控制区域耦合到该移动元件(55，57，60)并且容纳第一压电致动器(70)，该第一压电致动器被配置成用于在使用中引起该第一控制区域(66)的局部变形，该局部变形生成该第一和第二扭转弹性元件(56，58)的扭转。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 压电 振荡 结构 系统 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种利用压电致动的振荡结构(30)，所述振荡结构包括：‑第一扭转弹性元件(56)和第二扭转弹性元件(58)，所述第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件被限制到固定的支撑体(40)的对应部分并且限定旋转轴(O)；‑移动元件(55，57，60)，所述移动元件被安排在所述第一与第二扭转弹性元件(56，58)之间并连接到所述第一和第二扭转弹性元件，由于所述第一和第二可变形元件的扭转，所述移动元件可围绕所述旋转轴(O)旋转；以及‑第一控制区域(66)，所述第一控制区域耦合到所述移动元件(55，57，60)并且容纳第一压电致动器(70)，所述第一压电致动器被配置成用于在使用中引起所述第一控制区域(66)的局部变形，所述局部变形生成所述第一和第二扭转弹性元件(56，58)的扭转。
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