[发明专利]电路基板的检查方法、检查装置及程序

说明书

电路基板的检查方法是检查装置执行的电路基板的检查方法，包括：基于根据先前对检查对象的电路基板执行的检查中的检查结果的历史信息，即基于包含了表示电路基板的被检查电极和检查电路基板的检查电极之间的相对位置的检查位置信息的历史信息，设定与被检查电极和检查电极之间的位置对准相关的设定信息的设定步骤；以及基于由设定步骤设定的设定信息，变更相对的位置，检查电路基板的检查步骤。

技术领域

本发明涉及电路基板的检查方法、检查装置及程序。

背景技术

近年来，在电路基板的检查装置中，已知从定位标记即对准标记的位置，调整电路基板的被检查电极和检查该电路基板的检查电极之间的相对位置关系的检查方法(例如，参照专利文献1)。此外，在这样的检查方法中，例如，在根据检查结果判定为检查电极和被检查电极之间的位置对准不合适的情况下，一点点地变更检查电极和被检查电极之间的相对位置关系以进行再检查(以下，称为偏移重试(offset retry))。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平6-129831号公报

发明内容

发明要解决的问题

可是，因电路基板的制造偏差和应力等的变形等，对准标记的位置和被检查电极之间的位置关系不固定，所以在上述的检查方法中，例如，通过将进行重试的次数增加，进行合适地调整检查电极和被检查电极之间的位置对准。因此，在上述的检查方法中，有检查时间加长的课题。

本发明为了解决上述问题而完成，其目的在于，提供可以缩短检查时间的电路基板的检查方法、检查装置及程序。

解决问题的方案

为了解决上述问题，本发明的一方式是电路基板的检查方法，是检查装置执行的电路基板的检查方法，包括：设定步骤，基于根据先前对检查对象的电路基板执行的检查中的检查结果的历史信息，即基于包含检查位置信息的历史信息，设定与被检查电极和检查电极之间的位置对准相关的设定信息，所述检查位置信息表示所述电路基板的所述被检查电极和检查所述电路基板的所述检查电极之间的相对位置；以及检查步骤，基于由所述设定步骤设定的所述设定信息，变更所述相对的位置，检查所述电路基板。

此外，本发明的一方式是检查装置，包括：设定单元，基于根据先前对检查对象的电路基板执行的检查中的检查结果的历史信息，即基于包含检查位置信息的历史信息，设定与被检查电极和检查电极之间的位置对准相关的设定信息，所述检查位置信息表示所述电路基板的所述被检查电极和检查所述电路基板的所述检查电极之间的相对位置；以及检查单元，基于由所述设定单元设定的所述设定信息，变更所述相对的位置，检查所述电路基板。

此外，本发明的一方式是程序，使计算机执行以下步骤：设定步骤，基于根据先前对检查对象的电路基板执行的检查中的检查结果的历史信息，即基于包含检查位置信息的历史信息，设定与被检查电极和检查电极之间的位置对准相关的设定信息，所述检查位置信息表示所述电路基板的所述被检查电极和检查所述电路基板的所述检查电极之间的相对位置；以及检查步骤，基于由所述设定步骤设定的所述设定信息，变更所述相对的位置，检查所述电路基板。

发明的效果

根据本发明，基于历史信息，设定与被检查电极和检查电极之间的位置对准相关的设定信息，基于该设定信息，变更被检查电极和检查电极之间的相对位置，所以在被检查电极和检查电极之间的位置对准上需要的时间被缩短。因此，根据本发明，可以缩短检查时间。

附图说明

图1是表示本实施方式的检查装置的一例的外观图。

图2是表示本实施方式中检查装置的检查探针夹具的一例的图。

图3是表示本实施方式中的检查对象的电路基板的工件的一例的图。