[发明专利]电路基板的检查方法、检查装置及程序

权利要求书

1.一种检查装置执行的电路基板的检查方法，包括：

设定步骤，基于根据先前对检查对象的电路基板执行的检查中的检查结果的历史信息，即基于包含检查位置信息和支承条件信息的历史信息，设定与被检查电极和检查电极之间的位置对准相关的设定信息，所述检查位置信息表示所述电路基板的所述被检查电极和检查所述电路基板的所述检查电极之间的相对位置，所述支承条件信息表示为了支承所述电路基板所给予的张力的条件；以及

检查步骤，基于由所述设定步骤设定的所述设定信息，变更用于支承所述电路基板的拉紧力，同时变更所述相对的位置，检查所述电路基板，

在没有所述历史信息的积累、或积累不充分的情况下，检查所述检查对象的电路基板，并且执行用于执行历史信息的积累的学习模式，

在有对所述检查对象的电路基板的检查实绩，所述历史信息的积累充分的情况下，执行用于执行所述设定步骤及所述检查步骤的预测模式，

在所述设定信息中，包含指定对于所述被检查电极和所述检查电极之间的位置对准执行的处理过程的过程指定信息，

在所述设定步骤中，基于所述历史信息中的位置信息的实测值和设计值之间的偏差是否收敛在预先确定的期间或次数、规定值以内，设定所述过程指定信息，

在设定所述过程指定信息中，在所述偏差收敛在预先确定的期间或次数、规定值以内的情况下，不执行位置调整，在所述偏差没有收敛在预先确定的期间或次数、规定值以内的情况下，执行位置调整，

在所述检查步骤中，基于与所述过程指定信息对应的所述处理过程，变更所述相对的位置，检查所述电路基板。

2.如权利要求1所述的电路基板的检查方法，

在所述设定信息中，包含表示所述相对的位置的初始位置的初始位置信息，

在所述设定步骤中，基于所述历史信息，设定所述初始位置信息，

在所述检查步骤中，基于所述初始位置信息，将所述相对的位置移动到初始位置，检查所述电路基板。

3.如权利要求1或权利要求2所述的电路基板的检查方法，

在所述设定信息中，包含与在没有得到期待的检查结果的情况下变更的所述相对的位置有关的再检查变更信息，

在所述设定步骤中，基于所述历史信息，设定所述再检查变更信息，

在所述检查步骤中，在没有得到期待的检查结果的情况下，基于所述再检查变更信息，变更所述相对的位置以执行再检查。

4.如权利要求1或者权利要求2所述的电路基板的检查方法，还包括：

历史更新步骤，基于由所述检查步骤得到的检查结果和该检查位置信息，更新所述历史信息。

5.如权利要求3所述的电路基板的检查方法，还包括：

历史更新步骤，基于由所述检查步骤得到的检查结果和该检查位置信息，更新所述历史信息。