[发明专利]密封组件、转动部及真空加工设备

说明书

本发明提供了一种密封组件、转动部及真空加工设备。密封组件包括限位部；密封部，限位部设置于密封部的一侧，密封部的另一侧具有真空工作空间，限位部与密封部形成有用于将转动部限位并密封的容纳腔，转动部穿过限位部和密封部设置并延伸至真空工作空间内以形成动力源。将转动部穿过限位部和密封部设置，并将转动部密封并限位于限位部与密封部形成的容纳腔内，并使转动部延伸至位于密封部一侧的真空工作空间内以形成该真空工作空间的动力源。该技术方案能够很好的实现对安装于真空工作空间内动力源进行密封的问题，有效地解决了现有技术中无法在密封的真空工作腔内安装动力源的问题。

技术领域

本发明涉及真空加工设备技术领域，具体而言，涉及一种密封组件、转动部及真空加工设备。

背景技术

现有真空设备中，因密封技术不达标的问题，导致密封工作腔内无法安装动力源。使得很多真空设备无法实现真空加工自动化作业，只能采用传统的人工搬运的形式完成真空加工作业。由于不能采用自动化作业，对于需要加工工件较大的重型真空设备时，造成员工劳动强度过大、劳动附加值较小等问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种密封组件、转动部及真空加工设备，以解决现有技术中真空工作腔内无法安装动力源的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种密封组件，包括：限位部；密封部，限位部设置于密封部的一侧，密封部的另一侧具有真空工作空间，限位部与密封部形成有用于将转动部限位并密封的容纳腔，转动部穿过限位部和密封部设置并延伸至真空工作空间内以形成动力源。

进一步地，限位部包括：限位板，限位板上开设有阶梯孔，阶梯孔的大径端与密封部围设成容纳腔，阶梯孔的小径端形成供转动部穿过的第一轴孔。

进一步地，密封组件还包括：密封件，密封件设置于限位部和/或密封部内。

进一步地，密封组件还包括密封槽，密封槽开设于限位板和/或密封部上，密封槽内设置有密封件以将限位板与密封部的之间形成的缝隙进行密封。

进一步地，密封槽为环形槽，密封槽的内径大于阶梯孔的大径端的外径。

密封槽为多个，多个密封槽间隔地设置。

进一步地，密封部包括：密封板，密封板的外表面与阶梯孔的大径端围设成容纳腔。

进一步地，密封板具有供转动部穿过的第二轴孔，第二轴孔与第一轴孔同轴设置。

进一步地，第一轴孔的内径与第二轴孔的内径相同。

进一步地，密封件包括：第一密封件，套设于转动部上并位于容纳腔内。

进一步地，密封件还包括：第二密封件，套设于转动部上并位于容纳腔内，第一密封件位于第二密封件的一侧。

进一步地，第一密封件包括多个，第二密封件包括至少一个，多个第一密封件与第二密封件沿转动部的轴向交替设置。

进一步地，第一密封件为第一O型密封圈，和/或，第二密封件为密封铜环。

进一步地，密封件还包括：第三密封件，第三密封件设置于密封槽内。

进一步地，第三密封件为第二O型密封圈。

根据本发明的另一方面，提供了一种转动部，转动部与上述的密封组件相适配，转动部具有与容纳腔相适配的限位凸起。

进一步地，转动部为阶梯轴，限位凸起沿阶梯轴的周面设置并位于容纳腔内，密封组件具有的第一密封件和第二密封件交替地套设于限位凸起的外周面。

进一步地，转动部相对密封部可转动地设置。

根据本发明的另一方面，提供了一种真空加工设备，包括密封组件，密封组件为上述的密封组件。