[发明专利]准分子激光发生器和准分子激光退火设备

说明书

技术领域

本发明涉及显示器制备技术领域，尤其涉及一种准分子激光发生器和准分子激光退火设备。

背景技术

准分子激光退火设备所使用的激光系统为气体激光系统，在激光使用的过程中，会产生很多杂质或化学生成物沉积在反应窗表面，这些杂质使得准分子激光退火设备出射的激光的光斑品质和能量变差，引起脉冲污染或不良。

目前，准分子激光发生器内的反应窗的设计是一次性更换设计，只能在激光谐振腔内的激光气体寿命末期(如100M)，对反应窗进行更换。这往往出现的问题是：在气体使用寿命到一定时间后(如50M时)，反应窗表面可能就已经很脏了，激光光斑品质和能量已经变差。这个时候就已经需要更换反应窗了，但现有的设计必须得把激光气体排出激光谐振腔后才能进行，中间还涉及到气体激光谐振腔、低温冷凝器等的升温和降温过程，这样会耗时很多(4小时左右)，而激光气体又非常昂贵，考虑成本和稼动率等问题，就只能等到激光气体寿命末期(如100M)再进行更换，而此时的激光光斑和能量等已经变得很差了。

发明内容

本发明实施例提供了一种准分子激光发生器和准分子激光退火设备，用以提高反应窗更换的方便性，提高更换效率，减少气体的浪费。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

本发明提供了一种准分子激光发生器，包括：依次排列的反射镜、激活介质腔和出射镜，所述激活介质腔具有朝向所述反射镜的第一开口和朝向所述出射镜的第二开口，还包括：

两个更换单元，分别位于所述第一开口和所述反射镜之间以及所述第二开口和所述出射镜之间，每个所述更换单元包括：更换板和驱动元件，所述更换板上设有多个反应窗，所述驱动元件用于驱动更换板上的任一所述反应窗密封对应的开口；

分别位于所述第一开口和所述第二开口处的压力平衡单元，所述压力平衡单元用于调节对应的开口处密封的所述反应窗的第一面和第二面所受的压力，其中所述第一面为所述反应窗朝向对应开口的一面，所述第二面为所述反应窗背离对应开口的一面。

本发明提供的准分子激光发生器，通过设置更换单元可以便于反应窗的更换，在更换时，只需要驱动驱动元件工作即可完成反应窗的更换，同时通过设置的压力平衡单元可以调节处于密封状态下的反应窗的第一面和第二面所受的压力，这样可以便于将反应窗取下更换，本发明提供的准分子激光发生器在更换反应窗时不需要进行激光气体的排放和重新注入，也不需要气体激光谐振腔、低温冷凝器等的升温和降温过程，只需要调节反应窗的第一面和第二面所受的压力。

故，本发明提供的准分子激光发生器，可以提高反应窗更换的方便性，提高更换效率，减少气体的浪费。

在一些可选的实施方式中，准分子激光发生器还包括：位于所述反应窗和对应的开口之间的密封圈。密封圈的设置可以防止激活介质腔内的气体的泄漏。

在一些可选的实施方式中，每个所述压力平衡单元包括：

与所述第二面连通的压力调节腔，所述压力调节腔上设有进气口和排气口；

供气元件，为所述压力调节腔内提供气体；

设置于所述供气元件和所述进气口之间的连通管路上的调节阀；

设置于所述排气口的开关阀。通过调节调节阀和开关阀，可以调节第二面所受到的气体压力，当需要更换反应窗时，可以将第二面的压力调节成与第一面的压力相同，以便反应窗的取下更换，更换完后可以将第二面的压力减小，以便更换后的反应窗更好的密封激光介质腔。

在一些可选的实施方式中，所述供气元件为气囊或气垫。结构较简单。

在一些可选的实施方式中，每个压力平衡单元还包括：

用于在设定时间间隔内检测所述第一面所受压力值的传感器；

与所述传感器、所述开关阀以及所述调节阀信号连接的控制器，所述控制器根据所述传感器检测的所述压力值调节所述调节阀的开度和所述开关阀的开、合以使所述第一面和所述第二面所受的压力相等。可以自动调节反应窗第一面和第二面所受到的压力，便于操作。

在一些可选的实施方式中，所述控制器与所述驱动元件连接，所述控制器用于当所述第一面和所述第二面所受的压力相等时，控制所述驱动元件工作以驱动所述更换板移动直至新的所述反应窗密封对应的开口，并控制所述开关阀开启。实现自动更换。

在一些可选的实施方式中，所述驱动元件包括：

驱动电机；

一端与所述更换板连接、另一端与所述驱动电机的输出轴传动连接的传动杆。