[发明专利]一种极紫外单级衍射光栅有效
| 申请号： | 201710157609.3 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN106646710B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 浦探超;刘子维;史丽娜;谢常青;李海亮;牛洁斌;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 衍射 光栅 | ||
1.一种极紫外单级衍射光栅，其特征在于，包括：
透光衬底；
位于所述透光衬底上的不透光薄膜，所述不透光薄膜上开设有多个圆形透光通孔；
其中，所述圆形透光通孔在所述不透光薄膜上呈周期斜方格子分布方式排列，所述圆形透光通孔的圆心位于所述斜方格子的中心，所述圆形透光通孔的半径随机分布，存在最大值Rmax和最小值Rmin；
在所述不透光薄膜所在平面内，沿第一方向上，所述斜方格子的周期为Px，沿第二方向上，所述斜方格子的周期为Py，所述第一方向与所述第二方向垂直；
所述斜方格子的周期与所述圆形透光通孔半径的最大值和最小值之间具有预设比例，所述预设比例为Rmin＝Px/6，Rmax＝Px/2。
2.根据权利要求1所述的极紫外单级衍射光栅，其特征在于，所述随机分布为均匀分布、正弦分布、t分布、正态分布或泊松分布。
3.根据权利要求1所述的极紫外单级衍射光栅，其特征在于，所述斜方格子包括：正方格子、长方格子或三角格子。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的极紫外单级衍射光栅，其特征在于，所述不透光薄膜的材质包括金、银、铝、铬、硅、氮化硅或碳化硅。
5.根据权利要求1-3任意一项所述的极紫外单级衍射光栅，其特征在于，所述不透光薄膜的厚度范围为100nm-300nm，包括端点值。
6.根据权利要求1-3任意一项所述的极紫外单级衍射光栅，其特征在于，所述透光衬底为熔融石英、玻璃或者有机玻璃。
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