[发明专利]一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统

说明书

本发明涉及一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统，包括氯气净化系统、碱液循环系统、智能控制系统、液氯汽化系统。所的智能控制系统为整套氯气回收系统的核心，通过数据线分别与所述的氯气净化系统、碱液循环系统和液氯汽化系统相连接。所述的碱液循环系统、液氯汽化系统分别通过管道与所述的氯气净化系统相连。本发明不仅可自动实现对多晶硅生产过程中液氯汽化车间空气中氯气的回收净化，同时可对液氯汽化系统故障做出应急响应，实现故障状态下氯气的回收净化，有助于实现液氯汽化工段的安全生产。

技术领域

本发明涉及多晶硅生产线的配套装置，尤其涉及一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统。

背景技术

传统的多晶硅生产工艺为将工业硅粉与气态氯化氢在流化床内反应，生成三氯氢硅、四氯化硅及少量二氯氢硅、聚氯硅烷、金属氯化物等汽体混合物。将其冷凝得到液态混合物，用分馏提纯的方法从冷凝液中分离出高纯度的三氯氢硅。再将三氯氢硅、氢气按一定比例混合、汽化引入多晶硅还原炉。在置于还原炉内的U型棒状硅芯两端施加一定的电压、电流，控制工艺所需温度。三氯氢硅被氢气还原成元素硅，并沉积在硅芯表面，逐渐生成所需规格尺寸的多晶硅棒。

在多晶硅生产过程中，氯化氢合成工段需要用到大量的氯气，因此液氯汽化生产工段存在氯气泄露、空气中氯气超标的危险，且容易发生氯气中毒的安全生产事故，造成人员伤亡和财产的损失。因此开发一种液氯汽化工段的氯气回收净化系统，对于保障多晶硅生产过程中的本质安全、降低安全生产事故的发生几率，对于保护生命安全和减少财产损失具有重要的意义。

本发明针对多晶硅生产过程中液氯汽化存在的安全隐患，发明了一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统，可实现液氯汽化工段故障时氯气的回收和净化处理。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种自动控制操作的多晶硅生产线的氯气自动回收系统。

为解决上述问题，本发明所述的一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统，其特征在于：该系统包括氯气净化系统、碱液循环系统、智能控制系统和液氯汽化系统；所述的智能控制系统为整套自动回收系统的中枢，通过数据传输线分别与所述的氯气净化系统、碱液循环系统和液氯汽化系统相连；所述的碱液循环系统、液氯汽化系统分别通过管道与所述的氯气净化系统相连。

所述的氯气净化系统由吸风管道、智能分级风机I、氯气吸收塔、智能分级风机II和烟筒组成；所述的氯气净化系统由吸风管道、智能分级风机I、氯气吸收塔、智能分级风机II和烟筒通过管道依次进行连接；所述的智能分级风机I通过管道与所述的液氯汽化系统相连，通过数据传输线与所述的智能控制系统相连；所述的氯气吸收塔同时通过管道与所述的碱液循环系统相连；所述的智能分级风机II通过数据传输线和管道同时与所述的智能控制系统（3）和氯气吸收塔相连。

所述的碱液循环系统由碱液循环罐、智能控制泵I、智能控制泵II、碱液储罐、智能控制泵III、智能控制泵IV和废液储罐组成；所述的碱液循环罐通过管道与所述的智能控制泵I、氯气吸收塔、智能控制泵II进行循环连接；所述的碱液循环罐通过所述的智能控制泵IV与所述的废液储罐相连；所述的碱液储罐通过智能控制泵III与所述的碱液循环罐相连；所述的智能控制泵I、智能控制泵II、智能控制泵III、智能控制泵IV分别通过数据传输线与所述的智能控制系统相连。

所述的智能控制系统由氯气浓度检测仪、碱液浓度测定仪、碱液容量测定仪、尾气氯气测定仪、数据采集记录装置、智能分析决策装置和智能控制装置组成；所述的氯气浓度检测仪、碱液浓度测定仪、碱液容量测定仪、尾气氯气测定仪通过数据传输线分别与所述的数据采集记录装置相连；所述的数据采集记录装置、智能分析决策装置和智能控制装置通过数据传输线依次连接；所述的智能控制装置通过数据线分别与所述的智能分级风机I、智能分级风机II、智能控制泵I、智能控制泵II、智能控制泵III、智能控制泵IV相连。