[发明专利]一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统在审

专利信息
申请号: 201710156123.8 申请日: 2017-03-16
公开(公告)号: CN108619882A 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 田素燕;马军;杨兰 申请(专利权)人: 临沂大学
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/68;B01D53/96;G05D11/13
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 276005 山东省临*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 氯气 液氯汽化 碱液循环系统 净化系统 智能控制系统 自动回收系统 多晶硅 多晶硅生产过程 氯气回收系统 车间空气 故障状态 系统故障 应急响应 自动实现 回收 净化 数据线 工段 安全生产
【权利要求书】:

1.一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,其特征在于:该系统包括氯气净化系统(1)、碱液循环系统(2)、智能控制系统(3)和液氯汽化系统(4);所述的智能控制系统(3)为整套自动回收系统的中枢,通过数据传输线分别与所述的氯气净化系统(1)、碱液循环系统(2)和液氯汽化系统(4)相连;所述的碱液循环系统(2)、液氯汽化系统(4)分别通过管道与所述的氯气净化系统(1)相连。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,其特征在于:所述的氯气净化系统(1)由吸风管道(11)、智能分级风机I(12)、氯气吸收塔(13)、智能分级风机II(14)和烟筒(15)组成;所述的氯气净化系统(1)由吸风管道(11)、智能分级风机I(12)、氯气吸收塔(13)、智能分级风机II(14)和烟筒(15)通过管道依次进行连接;所述的智能分级风机I(12)通过管道与所述的液氯汽化系统(2)相连,通过数据传输线与所述的智能控制系统(3)相连;所述的氯气吸收塔(13)同时通过管道与所述的碱液循环系统(2)相连;所述的智能分级风机II(14)通过数据传输线和管道同时与所述的智能控制系统(3)和氯气吸收塔(14)相连。

3.如权利要求1所述的一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,其特征在于:所述的碱液循环系统(2)由碱液循环罐(21)、智能控制泵I(22)、智能控制泵II(23)、碱液储罐(24)、智能控制泵III(25)、智能控制泵IV(26)和废液储罐(27)组成;所述的碱液循环罐(21)通过管道与所述的智能控制泵I(22)、氯气吸收塔(13)、智能控制泵II(23)进行循环连接;所述的碱液循环罐(21)通过所述的智能控制泵IV(26)与所述的废液储罐(27)相连;所述的碱液储罐(24)通过智能控制泵III(25)与所述的碱液循环罐(21)相连;所述的智能控制泵I(22)、智能控制泵II(23)、智能控制泵III(25)、智能控制泵IV(26)分别通过数据传输线与所述的智能控制系统(3)相连。

4.如权利要求1所述的一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,其特征在于:所述的智能控制系统(3)由氯气浓度检测仪(31)、碱液浓度测定仪(32)、碱液容量测定仪(33)、尾气氯气测定仪(34)、数据采集记录装置(35)、智能分析决策装置(36)和智能控制装置(37)组成;所述的氯气浓度检测仪(31)、碱液浓度测定仪(32)、碱液容量测定仪(33)、尾气氯气测定仪(34)通过数据传输线分别与所述的数据采集记录装置(35)相连;所述的数据采集记录装置(35)、智能分析决策装置(36)和智能控制装置(37)通过数据传输线依次连接;所述的智能控制装置(37)通过数据线分别与所述的智能分级风机I(12)、智能分级风机II(14)、智能控制泵I(22)、智能控制泵II(23)、智能控制泵III(25)、智能控制泵IV(26)相连。

5.如权利要求1所述的一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,其特征在于:所述的液氯汽化系统(4)由液氯汽化装置(41)和故障报警仪(42)组成;所述的液氯汽化装置(41)通过管道与所述的智能分级风机I(12)相连;所述的故障报警仪(42)通过数据传输线与所述的智能控制系统(3)相连。

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