[发明专利]薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法

说明书

技术领域

本发明涉及应力测试领域，特别是涉及一种薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法。

背景技术

柔性显示设备是指具有可挠曲性的平板显示器件。柔性显示设备具有可弯曲、超低功耗、超轻薄、良好的耐用性以及便于携带等优点。柔性显示应用的推广与器件制作工艺技术、衬底材料等有关。成熟的封装技术也起着至关重要的作用。薄膜封装的效果与衬底上薄膜的应力有着密切的关系。如果薄膜中存在较大的应力，将对薄膜的结构和性质产生重要的影响，从而影响器件的寿命。传统的薄膜应力的测试装置都是针对小面积的衬底上的薄膜应力进行测量，对大面积的衬底测量的工序比较繁琐，无法做到快速对大面积的衬底的薄膜应力进行快速的测量。因此，能够快速对大面积的衬底的薄膜应力的进行测试的技术的研究变得十分重要。

发明内容

基于此，有必要针对传统测试技术无法快速测量大面积衬底的薄膜应力的问题，提供一种能够快速测量大面积衬底的薄膜应力的测试装置。

一种薄膜应力测试装置，包括激光发射模组、激光接收模组和测试平台；

所述激光发射模组包括设置于所述测试平台的激光器、分束元件；

所述激光接收模组包括设置于所述测试平台图像处理设备；

所述测试平台上设置有待测样品；

所述激光器发射的激光经所述分束元件后被分成二维激光阵列，所述二维激光阵列投射至所述待测样品，经过所述待测样品反射被所述图像处理设备接收。

在其中一个实施例中，所述激光发射模组包括设置于所述测试平台的第一反光镜；

所述激光接收模组包括设置于所述测试平台的第二反光镜；

从所述分束元件射出的二维激光阵列经过所述第一反光镜反射后投射至所述待测样品，经过所述待测样品的反射后再经过所述第二反光镜反射至所述图像处理设备，所述图像处理设备接收激光信号后进行图像处理。

在其中一个实施例中，所述测试平台包括样品台，所述样品台用以承载待测样品并带动待测样品在水平方向运动。

在其中一个实施例中，所述激光接收模组还包括成像元件，所述二维激光阵列经过所述第二反光镜反射至所述成像元件并在所述成像元件表面显示激光斑点，所述图像处理设备拍摄所述激光斑点后进行图像处理。

在其中一个实施例中，所述测试平台包括用以使所述样品台在第一移动方向移动的第一电机和用以使所述样品台在第二移动方向移动的第二电机，所述第一移动方向和所述第二移动方向相互垂直且处于同一平面。

在其中一个实施例中，所述激光接收模组还包括设置于所述样品台一侧的位置调节模块，所述图像处理设备可拆卸设置于所述位置调节模块，所述位置调节模块用以调节所述图像处理设备在所述第二移动方向移动。

在其中一个实施例中，所述位置调节模块包括滑动杆、基座、支撑板，所述基座固定于所述测试台，所述滑动杆沿着所述第二移动方向设置于所述基座，所述支撑板套设于所述滑动杆，所述图像处理设备可拆卸安装于所述支撑板，所述滑动杆用以驱动所述支撑板在所述第二移动方向运动。

一种薄膜应力测试方法，采用所述的薄膜应力测试装置，包括：

S100，将衬底样品固定于所述样品台，移动所述样品台以采集所述衬底样品的多个区域的第一图像信息；

S200，在所述衬底样品表面形成薄膜以获得封装衬底样品，多次移动所述样品台以再次采集所述多个区域的第二图像信息；

S300，对所述第一图像信息和所述第二图像信息进行处理，以获得所述薄膜的应力。

在其中一个实施例中，进一步包括预先对所述薄膜应力测试装置进行调试的步骤，包括：

S010，调试光路，使得所述图像处理设备采集到的图像处于视场的中心位置；

S020，等待所述激光器的激光功率处于稳定状态。

在其中一个实施例中，所述S100包括：

S110，沿着第一移动方向多次移动所述样品台以多次采集衬底样品进入所述图像处理设备视场的区域的图像信息；

S120，保持衬底相对所述样品台的固定位置不变，使所述样品台在第二移动方向多次移动并多次采集衬底样品进入所述图像处理设备视场的区域的图像信息。

上述薄膜应力测试装置，在激光器和图像处理设备之间设置分束元件，使从激光器射出的激光形成二维激光阵列。二维激光阵列能够覆盖大面积的衬底样品，同时具有多个采样点采集衬底样品的信息。因此所述薄膜应力测试装置能够快速测量大面积衬底的薄膜应力。

附图说明