[发明专利]薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法

权利要求书

1.一种薄膜应力测试装置，其特征在于，包括激光发射模组(100)、激光接收模组(200)和测试平台(300)；

所述激光发射模组(100)包括设置于所述测试平台(300)的激光器(110)、分束元件(130)；

所述激光接收模组(200)包括设置于所述测试平台(300)图像处理设备(230)；

所述测试平台(300)上设置有待测样品；

所述激光器(110)发射的激光经所述分束元件(130)后被分成二维激光阵列，所述二维激光阵列投射至所述待测样品，经过所述待测样品反射被所述图像处理设备(230)接收。

2.如权利要求1所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述激光发射模组(100)包括设置于所述测试平台(300)的第一反光镜(120)；

所述激光接收模组(200)包括设置于所述测试平台(300)的第二反光镜(210)；

从所述分束元件(130)射出的二维激光阵列经过所述第一反光镜(120)反射后投射至所述待测样品，经过所述待测样品的反射后再经过所述第二反光镜(210)反射至所述图像处理设备(230)，所述图像处理设备(230)接收激光信号后进行图像处理。

3.如权利要求2所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述测试平台(300)包括样品台(310)，所述样品台(310)用以承载待测样品并带动待测样品在水平方向运动。

4.如权利要求2所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述激光接收模组(200)还包括成像元件(220)，所述二维激光阵列经过所述第二反光镜(210)反射至所述成像元件(220)并在所述成像元件(220)表面显示激光斑点，所述图像处理设备(230)拍摄所述激光斑点后进行图像处理。

5.如权利要求3所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述测试平台(300)包括用以使所述样品台(310)在第一移动方向移动的第一电机(320)和用以使所述样品台(310)在第二移动方向移动的第二电机(330)，所述第一移动方向和所述第二移动方向相互垂直且处于同一平面。

6.如权利要求5所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述激光接收模组(200)还包括设置于所述样品台(310)一侧的位置调节模块(500)，所述图像处理设备(230)可拆卸设置于所述位置调节模块(500)，所述位置调节模块(500)用以调节所述图像处理设备(230)在所述第二移动方向移动。

7.如权利要求6所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述位置调节模块(500)包括滑动杆(510)、基座(520)、支撑板(530)，所述基座(520)固定于所述测试台(300)，所述滑动杆(510)沿着所述第二移动方向设置于所述基座(520)，所述支撑板(530)套设于所述滑动杆(510)，所述图像处理设备(230)可拆卸安装于所述支撑板(530)，所述滑动杆(510)用以驱动所述支撑板(530)在所述第二移动方向运动。

8.一种薄膜应力测试方法，采用如权利要求1-7中任一项所述的薄膜应力测试装置，包括：

S100，将衬底样品固定于所述样品台(310)，移动所述样品台(310)以采集所述衬底样品的多个区域的第一图像信息；

S200，在所述衬底样品表面形成薄膜以获得封装衬底样品，多次移动所述样品台(310)以再次采集所述多个区域的第二图像信息；

S300，对所述第一图像信息和所述第二图像信息进行处理，以获得所述薄膜的应力。

9.如权利要求8所述的薄膜应力测试方法，其特征在于，进一步包括预先对所述薄膜应力测试装置进行调试的步骤，包括：

S010，调试光路，使得所述图像处理设备(230)采集到的图像处于视场的中心位置；

S020，等待所述激光器(110)的激光功率处于稳定状态。

10.如权利要求8所述的薄膜应力测试方法，其特征在于，所述S100包括：

S110，沿着第一移动方向多次移动所述样品台(310)以多次采集衬底样品进入所述图像处理设备(230)视场的区域的图像信息；

S120，保持衬底相对所述样品台(310)的固定位置不变，使所述样品台(310)在第二移动方向多次移动并多次采集衬底样品进入所述图像处理设备(230)视场的区域的图像信息。