[发明专利]基于MEMS的电磁阀

权利要求书

1.一种可电子切换MEMS阀，其特征在于，所述可电子切换MEMS阀包括：

壳体，其由软磁材料形成并且限定穿过其的流体流动路径，所述壳体包括周壁、第一端壁和第二端壁部分，所述第一端壁附接到所述周壁的第一端并且具有穿过其形成的流体出口开口，所述第二端壁部分附接到所述周壁的第二端，所述第二端壁部分在所述周壁的相对的角之间延伸并且限定第一和第二流体入口开口；

限定了磁场产生构件的绕线线圈，该磁场产生构件安装在所述壳体内并且连接到电源；以及

MEMS阀部分，其安装在所述磁场产生构件以内，所述MEMS阀部分具有可移动地安装在其中的阀关闭构件，并且限定穿过其的所述流体流动路径的部分，所述阀关闭构件在流体流动路径被阻塞的关闭位置和流体流动路径不被阻塞的打开位置之间可移动，MEMS阀部分包括永磁体，该永磁体限定附接到所述阀关闭构件的衔铁，所述MEMS阀部分还包括覆盖层、基底层和中间层，所述覆盖层具有穿过其形成的入口端口，所述基底层具有穿过其形成的出口端口，所述中间层附接在所述覆盖层和所述基底层之间，其中，所述入口端口和所述出口端口限定穿过其的流体流动路径，其中所述MEMS阀部分安装在所述第一端壁和所述第二端壁部分之间，所述MEMS阀部分还包括密封层和第一软磁构件，所述密封层安装在形成于所述基底层的内表面中的腔体以内，所述第一软磁构件安装在所述密封层和所述基底层之间，MEMS阀还包括第二软磁构件，其附接在所述MEMS阀部分的覆盖层的外表面和所述第二端壁部分之间；

其中，当从所述磁场产生构件移除电流时，所述阀关闭构件被配置为移动到、并保持在所述关闭位置和所述打开位置中的、在移除电流时所述阀关闭构件最靠近的一个位置；以及其中，当在关闭位置、并且电流沿第一方向流过所述绕线线圈时，所述第二软磁构件的软磁材料和所述第二端壁部分的软磁材料被磁化，使得在所述衔铁与所述第二软磁构件和所述第二端壁部分之间的磁力的强度相对于在所述衔铁与所述第一软磁构件和所述第一端壁之间的磁力的强度更大，其中，所述衔铁朝向所述第二软磁构件移动，直到所述衔铁接合所述覆盖层的内表面并且所述MEMS阀部分处于打开位置，以及其中，当在打开位置、并且从绕线线圈移除电流时，在所述衔铁与所述第二软磁构件和所述第二端壁部分之间的磁力足以致使所述MEMS阀部分抵抗约0.75bar到约2bar范围内的压差而保持在所述打开位置。

2.根据权利要求1所述的可电子切换MEMS阀，其特征在于，当在打开位置、并且电流沿与第一方向相反的第二方向流过绕线线圈时，所述第一软磁构件的软磁材料和所述壳体的第一端壁的软磁材料被磁化，使得在所述衔铁与所述第一软磁构件和所述第一端壁之间的磁力的强度相对于在所述衔铁与所述第二软磁构件和所述第二端壁部分之间的磁力的强度更大，其中，因此所述衔铁朝向所述第一软磁构件移动，直到所述衔铁促动所述中间层的所述阀关闭构件到所述关闭位置中，以及其中，当在关闭位置、并且从绕线线圈移除电流时，在所述衔铁与所述第一软磁构件和所述第一端壁之间的磁力足以致使所述MEMS阀部分保持在所述关闭位置。