[发明专利]一种基于规则的亚分辨率辅助图形添加方法

权利要求书

1.一种基于规则的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S01：设计主图形，所述主图形为需要曝光显影的各种图形的阵列集合；

步骤S02：基于添加规则在主图形的直边外和尖角外上添加亚分辨率辅助图形；

步骤S03：进行光刻仿真；

步骤S04：扫描仿真结果,计算主图形中各个图形经曝光后的尺寸，获取无法达到设计目标值或足够工作窗口的图形，设为工艺薄弱图形；其中，所述工艺薄弱图形位于主图形的最外圈图形所包围的内部；

步骤S05：在工艺薄弱图形周围空隙添加满足光刻版可制造性规则的旋转的亚分辨率辅助图形；其中，所述亚分辨率辅助图形的边与其周围主图形的最小距离均满足光刻版可制造性规则。

2.根据权利要求1所述的一种基于规则的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，所述步骤S05中，所述旋转的角度为45°。

3.根据权利要求1所述的一种基于规则的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，所述步骤S02和S05中，所述亚分辨率辅助图形的形状包括长方形。

4.根据权利要求3所述的一种基于规则的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，所述步骤S02和S05中，所述亚分辨率辅助图形的形状是正方形。

5.根据权利要求1所述的一种基于规则的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，所述步骤S02中，所述添加规则包括定义亚分辨率辅助图形的尺寸、亚分辨率辅助图形与主图形的距离、亚分辨率辅助图形与相邻亚分辨率辅助图形的距离。

6.根据权利要求1所述的一种基于规则的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，所述步骤S01中，所述主图形为矩阵通孔图形。

7.根据权利要求1所述的一种基于规则的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，所述步骤S05中，在所述工艺薄弱图形的周围均匀添加4个旋转45°的正方形的亚分辨率辅助图形。