[发明专利]一种石墨盘基座

权利要求书

1.一种石墨盘基座，所述石墨盘基座包括基座本体和用于生长外延片的多个口袋，所述口袋包括一个第一口袋和多个第二口袋，所述第一口袋设置在所述基座本体的中心位置，所述多个第二口袋绕所述基座本体的中心位置周向分布，其特征在于，所述第一口袋的深度大于所述多个第二口袋的深度，所述第一口袋具有相连接的底面和环状侧壁，所述第一口袋的底面包括与所述第一口袋的环状侧壁相连的环形平面和位于所述第一口袋的底面的中部的曲面，所述曲面的边缘与所述环形平面相连，所述曲面为球冠型的凹面，所述曲面的底部到所述环形平面的垂直距离为5μm～30μm，所述环形平面的内径为70～75mm，所述第一口袋的深度与所述第二口袋的深度的差值为0.03～0.07mm。

2.根据权利要求1所述的石墨盘基座，其特征在于，所述口袋的环状侧壁上设置有凸环，所述凸环的圆心与所述环形平面的圆心重合，所述凸环的一个环形侧面贴合在所述环形平面上。

3.根据权利要求2所述的石墨盘基座，其特征在于，所述凸环上周向间隔设置有多个缺口，所述多个缺口将所述凸环分割为多个凸块。

4.根据权利要求3所述的石墨盘基座，其特征在于，所述多个凸块沿所述环形平面周向等角度间隔设置。