[发明专利]能有效减少大理石横梁长度的方法有效

专利信息
申请号: 201710131733.2 申请日: 2017-03-07
公开(公告)号: CN106909030B 公开(公告)日: 2019-06-18
发明(设计)人: 袁征;王艳升 申请(专利权)人: 无锡影速半导体科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 殷红梅
地址: 214135 江苏省无锡市新吴区太湖*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 有效 减少 大理石 横梁 长度 方法
【权利要求书】:

1.一种能有效减少大理石横梁长度的方法,包括大理石横梁(2)以及安装于所述大理石横梁(2)上的光路轴(1),在大理石横梁(2)的下方设有左台面(3)以及右台面(4),所述左台面(3)、右台面(4)在大理石横梁(2)下方呈并置式放置;其特征是:所述能有效减少大理石横梁长度的方法,包括以下步骤:

(1)、所述大理石横梁(2)通过横梁支撑立柱(6)安装于平台底座(7)上,在所述平台底座(7)上还设有与左台面(3)、右台面(4)配合的台面导轨(8);左台面(3)、右台面(4)能支撑在对应的台面导轨(8)上,并能在台面导轨(8)上运动,横梁支撑立柱(6)分别位于左台面(3)、右台面(4)间的外侧,横梁支撑立柱(6)在平台底座(7)上呈竖直放置,大理石横梁(2)固定支撑在横梁支撑立柱(6)的顶板,大理石横梁(2)呈矩形状,光路轴(1)上设置用于曝光的光路,光路轴(1)在大理石横梁(2)上能沿大理石横梁(2)的长度方向运动,光路能跟随光路轴(1)同步运动,以满足对左台面(3)、右台面(4)上的左台面板体、右台面板体的曝光;光路轴(1)移动区间,必须覆盖左台面(3)、右台面(4)的范围;在进行曝光时,放置于左台面(3)上的左台面板体与放置于右台面(4)上的右台面板体呈对称式放置;

(2)、工作之前,光路轴(1)和左台面(3)、右台面(4)均处于待机位置;光路轴(1)待机位置为行程正中间;工作时,当需要先对左台面(3)曝光时,光路轴(1)在左台面(3)上的待机位置位于左台面(3)的左侧;当需要先对右台面(4)曝光时,光路轴(1)在右台面(4)上的待机位置位于右台面(4)的右侧;

对左台面(3)曝光时,左台面(3)移动至光路下方的曝光位置,同时光路轴(1)移动至左台面(3)的左台面起始位置,开始曝光;左台面(3)曝光过程中,右台面(4)移动至曝光开始位置;左台面(3)曝光结束后,光路轴(1)由左台面(3)的左侧起始位置,移动至左台面(3)的右侧,以便对右台面(4)开始曝光,对右台面(4)曝光的过程与左台面(3)曝光过程相一致;

(3)、左台面(3)以左台面(3)的左下角为定位点放板,右台面(4)以右台面(4)的右下角为定位点放板,当光路超出右台面(4)的行程,在光路轴(1)正中间,没有光路与横梁支撑立柱(6)产生干涉的风险;左台面(3)与右台面(4)一样,从而能有效减少大理石横梁(2)的长度。

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