[发明专利]吸嘴检查装置

权利要求书

1.一种吸嘴检查装置，对从电子元件安装装置拆下的用于吸附元件的吸嘴的清扫状态进行检查，所述吸嘴检查装置具备：

清扫装置，对所述吸嘴进行清扫；

安装于基台上的安装台；

吸嘴保持托盘，设于所述安装台，且等间隔地设有以垂直状态保持所述吸嘴的多个吸嘴保持部；

上下移动装置，能够沿上下方向移动地安装于所述基台；

吸嘴连接部，位于所述吸嘴保持托盘的上方而以能够沿着上下方向移动的方式设于所述上下移动装置，与清扫后的所述吸嘴的在基端开口的基端侧的吸嘴孔连接或分离，并供给或抽吸空气；

流量检测部，检测经由所述吸嘴连接部供给至所述吸嘴孔的空气的流量或经由所述吸嘴连接部从所述吸嘴孔抽吸的空气的流量。

2.根据权利要求1所述的吸嘴检查装置，其中，

所述吸嘴附有识别信息，

所述吸嘴检查装置具有：

读取装置，读取该识别信息；及

清扫状态判定部，基于由所述流量检测部检测出的空气的流量和与所述识别信息相应的所述吸嘴对应的流量基准，在由所述清扫装置清扫后判定所述吸嘴的清扫状态。

3.根据权利要求2所述的吸嘴检查装置，其中，

所述吸嘴检查装置具有对所述吸嘴的前端部进行拍摄的吸嘴拍摄装置，

所述清扫状态判定部基于由所述吸嘴拍摄装置在未吸附元件的状态下拍摄到的所述吸嘴的前端部的图像，在由所述清扫装置清扫后判定所述吸嘴的清扫状态。