[发明专利]掩膜组件

说明书

本发明提供了一种掩膜组件。该掩膜组件包括：碳纤维材料层，具有第一镂空区域；第一金属层，设置于碳纤维材料层的至少一侧表面，且第一金属层具有与第一镂空区域对应的第二镂空区域。由于碳纤维材料层具有低膨胀和高强度的特性，从而在应用上述掩膜组件时不仅降低了工艺中温度变化对其可靠性的影响，还减少了上述温度变化导致的掩膜组件中镂空图案的尺寸变化；并且，通过上述第一金属层能够使掩膜组件具有平滑表面，从而避免了在蒸发、溅射或印刷等制备工艺时材料在掩膜组件表面的堆积，进而省去了后续为去除上述堆积材料的刮除工序以及刮除工序带来的损伤，使掩膜组件同时满足了高强度和高精度的需求。

技术领域

本发明涉及掩膜技术领域，具体而言，涉及一种掩膜组件。

背景技术

目前，用于蒸镀工艺的蒸镀罩主要是直接采用金属丝网或是进行金属电铸形成网版的方式。然而，上述方式均具有尺寸安定性的问题，其根本的原因是由于金属或丝网材料具有弹性，从而在蒸镀过程中上述材料会随使用时间及温度产生一定的变形量或是弹性疲劳的现象，导致蒸镀罩的寿命减少，或蒸镀罩中镂空图案的尺寸随之产生对位差异，尤其是在大面积组件的生产制作上，微量的尺寸变化会导致整体面积的累积变化量超过设计误差。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种掩膜组件，以解决现有技术中蒸镀罩的寿命较低且蒸镀罩中镂空图案的尺寸已发生变化的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种掩膜组件，包括：碳纤维材料层，具有第一镂空区域；第一金属层，设置于碳纤维材料层的至少一侧表面，且第一金属层具有与第一镂空区域对应的第二镂空区域。

进一步地，上述碳纤维材料层为碳纤维布或碳纤维膜。

进一步地，上述掩膜组件还包括第二金属层，第二金属层设置于碳纤维材料层和第一金属层对应第一镂空区域和第二镂空区域的表面上。

进一步地，上述第一金属层和/或第二金属层的热膨胀系数为0～5ppm/℃。

进一步地，上述第一金属层和/或第二金属层为磁性金属层。

进一步地，上述第一金属层和/或第二金属层为铁镍合金层。

进一步地，在碳纤维材料层的延伸方向上，第二金属层的厚度为0.5～30μm。

进一步地，上述第一金属层的厚度为5～50μm。

进一步地，上述掩膜组件的厚度为30～150μm。

进一步地，上述掩膜组件还包括与碳纤维材料层和/或第一金属层连接的固定框。

应用本发明的技术方案，提供了一种包括碳纤维材料层和第一金属层的掩膜组件，由于碳纤维材料层具有低膨胀和高强度的特性，从而在应用上述掩膜组件时不仅降低了工艺中温度变化对其可靠性的影响，还减少了上述温度变化导致的掩膜组件中镂空图案的尺寸变化；并且，通过上述第一金属层能够使掩膜组件具有平滑表面，从而避免了在蒸发、溅射或印刷等制备工艺时材料在掩膜组件表面的堆积，进而省去了后续为去除上述堆积材料的刮除工序以及刮除工序带来的损伤，使掩膜组件同时满足了高强度和高精度的需求。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本发明还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本发明作进一步详细的说明。

附图说明

构成本发明的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了本发明实施方式所提供的一种掩膜组件的剖面示意图；以及

图2示出了本发明实施方式所提供的一种具有第二金属层的掩膜组件的剖面示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：