[发明专利]掩膜组件有效
| 申请号： | 201710072336.2 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106801215B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 周淑金 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 组件 | ||
1.一种掩膜组件，其特征在于，包括：
碳纤维材料层(10)，具有第一镂空区域；
第一金属层(20)，设置于所述碳纤维材料层(10)的至少一侧表面，用于使所述掩膜组件具有平滑表面，且所述第一金属层(20)具有与所述第一镂空区域对应的第二镂空区域，所述第一金属层(20)的热膨胀系数为0～5ppm/℃，所述第一金属层(20)为磁性金属层。
2.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述碳纤维材料层(10)为碳纤维布或碳纤维膜。
3.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件还包括第二金属层(30)，所述第二金属层(30)设置于所述碳纤维材料层(10)和所述第一金属层(20)对应所述第一镂空区域和所述第二镂空区域的表面上。
4.根据权利要求3所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二金属层(30)的热膨胀系数为0～5ppm/℃。
5.根据权利要求4所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二金属层(30)为磁性金属层。
6.根据权利要求5所述的掩膜组件，其特征在于，所述第一金属层(20)和/或第二金属层(30)为铁镍合金层。
7.根据权利要求3所述的掩膜组件，其特征在于，在所述碳纤维材料层(10)的延伸方向上，所述第二金属层(30)的厚度为0.5～30μm。
8.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述第一金属层(20)的厚度为5～50μm。
9.根据权利要求8所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件的厚度为30～150μm。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件还包括与所述碳纤维材料层(10)和/或所述第一金属层(20)连接的固定框(40)。
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