[发明专利]防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法

说明书

本发明涉及蒸镀材料的蒸发技术领域，具体涉及一种防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法。包括如下步骤：步骤一、将蒸镀材料加入至蒸发源坩埚内；步骤二、向蒸发源坩埚内的蒸镀材料中加入立体状的导热物；其中，所述导热物与蒸发源坩埚内蒸镀材料的体积比为1：1～5；所述导热物的熔点高于所述蒸镀材料的蒸发或升华温度。本发明通过向蒸发源坩埚内的蒸镀材料中加入立体状的导热物，有效提高了蒸镀材料间的导热性，使得蒸镀材料能够受热均匀，方法简单、易于实现，有效解决了目前蒸发源坩埚内材料受热不均导致的材料劣化问题。

技术领域

本发明涉及蒸镀材料的蒸发技术领域，具体涉及一种防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法。

背景技术

目前真空蒸镀设备蒸发源坩埚容量逐渐提升，由于蒸镀材料导热性差的问题，蒸镀材料与坩埚内壁接触部分温度远高于材料的蒸发温度，导致与坩埚内壁接触的蒸镀材料在受热过程中存在分解、变质等劣化问题，此影响随着坩埚容量的增加而更加明显。

现有技术中，为防止蒸镀材料在受热过程中劣化，通常采用如下两种方案：

方案一、随着材料的减少随时向坩埚内补充材料来进行蒸镀作业，这种方案需要频繁地进行破真空、补料、抽真空等操作，操控不方便，不利于蒸镀作业的稳定运行，对于大容量坩埚更加不适合；

方案二、通过将颗粒状的蒸发材料推压在加热构件上进行局部加热，使材料仅被局部加热并蒸发或升华，来防止其他部位的材料发生劣化，此方案需要用于使蒸镀材料形成颗粒状的设备、以及将颗粒状蒸镀材料推压在加热源上的加压装置，会导致设备成本增加。

综上，有必要提供一种适用于大容量坩埚、且简单易行的坩埚蒸发技术。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种能够使蒸镀材料均匀受热、且操控方便易于实现的防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法。

为实现上述技术目的，本发明采用以下的技术方案：

防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法，包括如下步骤：

步骤一、将蒸镀材料加入至蒸发源坩埚内；

步骤二、向蒸发源坩埚内的蒸镀材料中加入立体状的导热物；

其中，所述导热物与蒸发源坩埚内蒸镀材料的体积比为1：1～5；所述导热物的熔点高于所述蒸镀材料的蒸发或升华温度。

作为优选，所述导热物为球状、柱状或球柱组合状的结构，当然也可以采用其他体状。

作为优选，所述导热物的材质为金属、玻璃、石墨、陶瓷、三氧化二铝或氮化硼等。

作为优选，步骤二中，向蒸发源坩埚内加入的导热物的形状为统一形状、统一材质，也可以为不同形状、统一材质或不同形状、不同材质，也就是说，导热物可以是统一形状、大小及材质，也可以是以上几种的任意组合。

由于采用上述技术方案，本发明具有至少以下有益效果：通过向蒸发源坩埚内的蒸镀材料中加入立体状的导热物，有效提高了蒸镀材料间的导热性，使得蒸镀材料能够受热均匀，方法简单、易于实现，有效解决了目前蒸发源坩埚内材料受热不均导致的材料劣化问题。

附图说明

以下附图仅旨在于对本发明做示意性说明和解释，并不限定本发明的范围。其中：

图1是本发明实施例一蒸镀时的剖面结构示意图；

图2是本发明实施例二的其中之一种导热物的结构示意图；

图3是本发明实施例二的另一种导热物的结构示意图。

图中：1-蒸镀材料；2-蒸发源坩埚；3-导热物；31-球；32-柱。

具体实施方式