[发明专利]防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法在审
| 申请号： | 201710057898.X | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108342693A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 吕兆辉 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 郭云梅 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀材料 蒸发源坩埚 导热物 劣化 立体状 导热性 熔点 受热不均 受热均匀 有效解决 蒸发技术 体积比 蒸发 升华 | ||
【权利要求书】：
1.防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法，其特征在于：包括如下步骤：
步骤一、将蒸镀材料(1)加入至蒸发源坩埚(2)内；
步骤二、向蒸发源坩埚(2)内的蒸镀材料(1)中加入立体状的导热物(3)；
其中，所述导热物(3)与蒸发源坩埚(2)内蒸镀材料(1)的体积比为1：1～5；所述导热物(3)的熔点高于所述蒸镀材料(1)的蒸发或升华温度。
2.如权利要求1所述的防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法，其特征在于：所述导热物(3)为球状、柱状或球柱组合状的结构。
3.如权利要求1所述的防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法，其特征在于：所述导热物(3)的材质为金属、玻璃、石墨、陶瓷、三氧化二铝或氮化硼。
4.如权利要求1所述的防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法，其特征在于：步骤二中，向蒸发源坩埚(2)内加入的导热物(3)的形状为统一形状、统一材质。
5.如权利要求1所述的防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法，其特征在于：步骤二中，向蒸发源坩埚(2)内加入的导热物(3)的形状为不同形状、统一材质。
6.如权利要求1所述的防止蒸发源坩埚内材料劣化的方法，其特征在于：步骤二中，向蒸发源坩埚(2)内加入的导热物(3)的形状为不同形状、不同材质。
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