[发明专利]一种二氧化硅膜孔径的调控方法及其应用有效
申请号: | 201710028138.6 | 申请日: | 2017-01-13 |
公开(公告)号: | CN106823843B | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 徐荣;刘云;郭猛;钟璟;张琪 | 申请(专利权)人: | 常州大学 |
主分类号: | B01D71/02 | 分类号: | B01D71/02;B01D67/00;B01D53/22;C01B3/50 |
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地址: | 213164 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 二氧化硅 孔径 调控 方法 及其 应用 | ||
1.一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:包括以下步骤:
(1)在异丙醇中,通过烷氧基硅烷、水和HCl的水解聚合反应,制备倍半硅氧烷溶胶;
(2)将与SiO2-ZrO2溶胶混合的二氧化硅玻璃颗粒涂覆在多孔玻璃管上,高温条件下煅烧得到膜的过渡层;
(3)将步骤(1)中得到的半硅氧烷溶胶擦涂在步骤(2)中得到的过渡层上,涂完后煅烧得到二氧化硅膜;
(4)把步骤(3)中得到的二氧化硅膜置于高温高压的氨气气氛中进行原位反应,得到改性后的二氧化硅膜。
2.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(1)中烷氧基硅烷为三甲氧基硅烷、三乙氧基硅烷中的一种或两种。
3.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(1)中的烷氧基硅烷、水和HCl的摩尔比为1:240:0.1。
4.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(1)中烷氧基硅烷的质量分数为2.0%,水解聚合反应温度为25~45℃,水解聚合反应时间为1~2h。
5.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(2)中多孔玻璃管的孔径为500nm,孔隙率为64%。
6.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(2)中二氧化硅玻璃颗粒直径为300nm,煅烧温度为550℃,煅烧气氛为空气,煅烧时间为30min。
7.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(3)中煅烧温度为400~650℃,煅烧气氛为氮气,煅烧时间为30min。
8.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(4)中温度为400~650℃,压力为200kPa,氨气的浓度为10~100mol%氨气的载体气体为氦气。
9.权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法的应用,其特征是:所述的二氧化硅膜孔径的调控方法适用于含有Si-H键的硅膜和含有C-H键的碳膜。
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