[发明专利]一种二氧化硅膜孔径的调控方法及其应用有效

专利信息
申请号: 201710028138.6 申请日: 2017-01-13
公开(公告)号: CN106823843B 公开(公告)日: 2019-03-22
发明(设计)人: 徐荣;刘云;郭猛;钟璟;张琪 申请(专利权)人: 常州大学
主分类号: B01D71/02 分类号: B01D71/02;B01D67/00;B01D53/22;C01B3/50
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213164 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 新型 二氧化硅 孔径 调控 方法 及其 应用
【权利要求书】:

1.一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:包括以下步骤:

(1)在异丙醇中,通过烷氧基硅烷、水和HCl的水解聚合反应,制备倍半硅氧烷溶胶;

(2)将与SiO2-ZrO2溶胶混合的二氧化硅玻璃颗粒涂覆在多孔玻璃管上,高温条件下煅烧得到膜的过渡层;

(3)将步骤(1)中得到的半硅氧烷溶胶擦涂在步骤(2)中得到的过渡层上,涂完后煅烧得到二氧化硅膜;

(4)把步骤(3)中得到的二氧化硅膜置于高温高压的氨气气氛中进行原位反应,得到改性后的二氧化硅膜。

2.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(1)中烷氧基硅烷为三甲氧基硅烷、三乙氧基硅烷中的一种或两种。

3.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(1)中的烷氧基硅烷、水和HCl的摩尔比为1:240:0.1。

4.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(1)中烷氧基硅烷的质量分数为2.0%,水解聚合反应温度为25~45℃,水解聚合反应时间为1~2h。

5.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(2)中多孔玻璃管的孔径为500nm,孔隙率为64%。

6.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(2)中二氧化硅玻璃颗粒直径为300nm,煅烧温度为550℃,煅烧气氛为空气,煅烧时间为30min。

7.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(3)中煅烧温度为400~650℃,煅烧气氛为氮气,煅烧时间为30min。

8.根据权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法,其特征是:所述的步骤(4)中温度为400~650℃,压力为200kPa,氨气的浓度为10~100mol%氨气的载体气体为氦气。

9.权利要求1所述的一种新型二氧化硅膜孔径的调控方法的应用,其特征是:所述的二氧化硅膜孔径的调控方法适用于含有Si-H键的硅膜和含有C-H键的碳膜。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州大学,未经常州大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710028138.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top