[发明专利]具有一探针装置的测试系统及转位机构

权利要求书

1.一种用于测试一受测试器件的系统，包括：

一电路板，所述电路板具有一信号接触结构及一防护接触结构，所述电路板被配置为一板片，所述板片具有一顶部侧、一底部侧以及通过所述顶部侧和底部侧的一开口；

多个探针卡，每个探针卡包括一导线导引器、与该导线导引器连接的一探针块、由所述导线导引器及所述探针块支撑的多个探针导线，所述探针导线通过所述导线导引器以及所述探针块被定位，所述探针导线包括延伸通过所述探针块的一探针尖端，所述探针尖端形成一阵列以探测所述受测试器件，所述探针导线包括自所述导线导引器暴露的一信号传输部分以及一防护部分，所述信号传输部分以及所述防护部分形成一接触结构，并通过所述阵列被安置于每个探针卡的一侧上；

以及一托架机构，所述托架机构被配置用于将所述多个探针卡定位到所述电路板上，并通过一气动操作以及一自动化控制自所述多个探针卡的第一探针卡切换到所述多个探针卡的另一个探针卡；

其中，任何所述多个探针卡的所述探针块可插入到所述电路板的所述开口中以允许所述阵列探测所述受测试器件，所述接触结构可与所述电路板上的所述信号接触结构以及防护接触结构接触，所述接触结构与所述信号接触结构和所述防护接触结构的接触允许信号通过所述探针导线以及所述电路板而被传送。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，每个探针卡包括一安置于每个探针卡另一侧上的固位体部件，其中，所述固位体部件包括一插座，所述插座被配置用于接纳一球形架座。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，进一步包括：

一固持器，所述固持器具有多个探针卡站，所述探针卡站具有一连接器结构，以连接到任何所述多个探针卡的所述固位体部件以及断开自任何所述多个探针卡的所述固位体部件的连接，并允许所述多个探针卡与所述电路板和所述受测试器件两者接触，其中，所述固持器包括至少五个位置，任何所述多个探针卡可安装于所述至少五个位置上。

4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述固持器为具有五个面的一五边形轮，其中，每个面可用于安装所述多个探针卡的一个探针卡，所述五边形轮被配置以执行所述探针卡的旋转转位。

5.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述固持器被配置用于执行所述探针卡的平移转位。

6.如权利要求3所述的系统，其特征在于，进一步包括用于自所述固持器装载及移除所述探针卡的一装载工具。

7.如权利要求3所述的系统，其特征在于，进一步包括一封装，以用于容纳所述电路板、固持器及托架机构以作为一单一单元。

8.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述托架机构包括一框架及转位组件。

9.一种探测受测试器件的方法，包括：

使用一托架机构，将多个探针卡的一第一探针卡定位到一电路板以及一受测试器件上，所述电路板具有一信号接触结构及一防护接触结构，每个探针卡包括多个探针导线，所述探针导线包括延伸通过探针块的一探针尖端，所述探针尖端形成一阵列以探测所述受测试器件，所述探针导线包括自所述导线导引器暴露的一信号传输部分以及一防护部分，所述信号传输部分以及所述防护部分形成一接触结构，并通过所述阵列被安置于每个探针卡的一第一侧上；

使用一托架机构，以用于将所述多个探针卡的所述第一探针卡的所述接触结构与所述信号接触结构以及所述防护接触结构在所述电路板上对准接触，以及用于将所述阵列与所述受测试器件接触；

使用所述阵列探测所述受测试器件；以及

通过所述多个探针卡的所述第一探针卡与所述电路板的接触以及所述多个探针卡的所述第一探针卡与所述受测试器件的接触，将信号通过所述阵列传输到一测试设备，从而允许信号通过所述探针导线及电路板被传送；

其中，通过一气动操作以及一自动化控制执行定位所述多个探针卡的所述第一探针卡，以及对准接触所述多个探针卡的所述第一探针卡的步骤中的一个或多个步骤。