[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀掩模的制造方法、电致发光显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模，其由金属掩模和树脂掩模层叠而形成，其特征在于：

所述金属掩模具有至少1个第一开口部，

所述第一开口部形成为：第一方向的开口长度随着从与所述第一方向正交的第二方向的中央部向所述第二方向的两端部去而变长，

所述树脂掩模具有多个第二开口部，

所述多个第二开口部沿着所述第一方向配置有至少1个，并且沿着所述第二方向配置有多个，

从所述第一开口部露出的、在所述第二方向的各位置沿着所述第一方向配置的所述第二开口部的所述第一方向的总开口长度，随着从所述第二方向的中央部向所述第二方向的两端部去而变长。

2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：

在所述金属掩模中设置有至少1个金属剩余部，该金属剩余部形成为：所述第一方向的长度随着从所述第二方向的中央部向所述第二方向的两端部去而变短。

3.如权利要求2所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述金属剩余部设置在所述第一开口部的所述第一方向的至少一个端部。

4.如权利要求2或3所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述金属剩余部设置在所述第一开口部的所述第一方向的两端部。

5.如权利要求2或3所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述金属剩余部仅设置在所述第一开口部的所述第一方向的一个端部。

6.如权利要求2所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述金属剩余部以将所述第一开口部分割成多个的方式，在所述第二方向上横穿所述第一开口部而设置。

7.如权利要求6所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述金属剩余部具有平凸形状。

8.如权利要求6所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述金属剩余部具有双凸形状。

9.如权利要求2～8中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述多个第二开口部中的至少一部分的所述第二开口部被所述金属剩余部部分地覆盖。

10.如权利要求9所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述多个第二开口部分别具有相同形状。

11.如权利要求1～8中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述多个第二开口部仅形成在所述第一开口部内。

12.如权利要求1～11中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述多个第二开口部在所述第一方向上配置有多个。

13.如权利要求1～12中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于：

所述第一开口部呈交错状配置有多个。

14.一种蒸镀装置，其为在被成膜基板上形成具有条状的图案的蒸镀膜的蒸镀装置，其特征在于：

所述蒸镀装置包括蒸镀单元，该蒸镀单元包括：权利要求1～13中任一项所述的蒸镀掩模；和蒸镀源，其隔着所述蒸镀掩模配置在与所述被成膜基板相反的一侧，且具有射出蒸镀颗粒的至少1个蒸镀源开口，

所述蒸镀掩模的所述第一方向的长度比所述被成膜基板的所述第一方向的长度短，通过使所述被成膜基板和所述蒸镀单元中的至少一者沿着所述第一方向相对于另一者相对移动，在所述被成膜基板上形成所述蒸镀膜。

15.如权利要求14所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述金属掩模和所述树脂掩模形成为一体，

在所述蒸镀掩模上没有设置用于进行所述金属掩模与所述树脂掩模的对位的对准标记，

在所述树脂掩模上设置有用于进行所述蒸镀掩模与所述被成膜基板的对位的对准标记。