[发明专利]高效率太阳能电池的制造方法

说明书

本发明是一种太阳能电池的制造方法，其具有下列步骤：于半导体基板的第1主表面形成第1电极的步骤，及以覆盖前述第1电极的至少一部分的方式涂布绝缘膜前驱物的步骤，及使前述绝缘膜前驱物暂硬化的步骤，及于至少前述绝缘膜前驱物上，以与前述第1电极电绝缘的方式涂布导电性糊料的步骤，及使前述导电性糊料硬化来作为第2电极的步骤，以及使前述绝缘膜前驱物正式硬化来作为绝缘膜的步骤，将前述导电性糊料以与前述第1电极电绝缘的方式进行涂布的步骤在使前述绝缘膜前驱物暂硬化的步骤之后进行，使前述导电性糊料硬化来作为第2电极的步骤的至少一部分与使前述绝缘膜前驱物正式硬化来作为绝缘膜的步骤的至少一部分同时进行。由此，可提供生产性高、且具有高光电转换特性的太阳能电池的制造方法。

技术领域

本发明是关于高效率太阳能电池的制造方法。

背景技术

作为提升结晶硅太阳能电池的光电转换效率的手法，近年来，废除受光面的电极来消除因电极的阴影导致的光学损失的所谓背面电极型太阳能电池被广泛探讨。

图1是显示背面电极型太阳能电池的背面的一例的示意图，又，图2是显示图1的一点链线A的剖面者。如图1所示般，于太阳能电池100中，于半导体基板(例如结晶硅基板)110的背面(第1主表面)形成有射极区域(射极层)112。又，挟持射极区域112，以条纹状形成基极区域(基极层)113，于射极区域112上形成射极电极122，进而，多个射极电极122以射极总线(射极用总线电极)132作连结。又，于基极区域113上形成基极电极123，多个基极电极123以基极总线(基极用总线电极)133作连结。另一方面，基极电极123与射极区域112、以及射极电极122与基极区域113以绝缘膜118作电绝缘。又，如图2所示般，太阳能电池100于半导体基板110的第1主表面及第2主表面上具备钝化膜119。另外，于图1中省略钝化膜119。

上述构造，一般而言是通过形成射极电极122与基极电极123之后，将树脂涂布剂通过网版印刷或喷墨印刷、或者分配涂布来对基板上的特定部位进行涂布，并通过热处理或UV照射而使其完全硬化，之后，将以银、铜、铝等的导电体作为主成分的树脂硬化型导电性糊料通过网版印刷或喷墨印刷、或者分配涂布来对基板上的特定部位进行涂布，并以热处理进行硬化而形成。

于专利文献1中记载有于绝缘膜使用聚酰亚胺组成物，通过140℃、10分钟的加热与250℃、约30分钟的加热，将绝缘膜硬化之后，于其上印刷银糊料，并通过以400℃以上、30秒的烧成而形成电极的方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-69594号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，如专利文献1般，若在使绝缘膜充分硬化之后进一步层合热硬化型电极来进行热处理，则有不仅仅热处理会耗费长时间，而使生产性明显降低，也会对绝缘膜施加过剩的热量而使韧性降低，或是绝缘膜收缩而无法得到充分的绝缘性能的问题。

本发明是鉴于上述问题点而完成者，其目的为，提供生产性高、且具有高光电转换特性的太阳能电池的制造方法。

用于解决问题的手段

为了达成上述目的，于本发明中提供一种太阳能电池的制造方法，其特征为，具有下列步骤：于半导体基板的第1主表面形成第1电极的步骤、及以覆盖前述第1电极的至少一部分的方式涂布绝缘膜前驱物的步骤、及使前述绝缘膜前驱物暂硬化的步骤、及于至少前述绝缘膜前驱物上，以与前述第1电极电绝缘的方式涂布导电性糊料的步骤、及使前述导电性糊料硬化来作为第2电极的步骤、以及使前述绝缘膜前驱物正式硬化来作为绝缘膜的步骤，将前述导电性糊料以与前述第1电极电绝缘的方式进行涂布的步骤在使前述绝缘膜前驱物暂硬化的步骤之后进行，使前述导电性糊料硬化来作为第2电极的步骤的至少一部分与使前述绝缘膜前驱物正式硬化来作为绝缘膜的步骤的至少一部分同时进行。