[发明专利]检查装置、检查方法以及非接触式传感器

说明书

提供非接触式传感器(10)以及使用其的检查方法，通过激励线圈(13)、第一检测线圈(11)以及第二检测线圈(12)构成磁回路，并且将第一检测线圈(11)和第二检测线圈(12)在磁回路上对称地构成。检查装置(20)包括：第一输入部(21)，被输入来自第一检测线圈(11)的信号；第二输入部(22)，被输入来自第二检测线圈(12)的信号；差计算部(23)，计算来自第一输入部(21)的第一信号与来自第二输入部(22)的第二信号的差；信号处理部(24)，对通过差计算部(23)计算出的差信号进行处理；以及振荡部(25)，生成对激励线圈(13)的激励信号以及对信号处理部(24)的参照信号，能够高灵敏度且简便地判断有无检查对象物、与成为基准的标准的物体的异同等。

技术领域

本发明涉及能以高灵敏度简便地进行检查的检查装置、检查方法以及被用于其上的非接触式传感器。

背景技术

作为非接触的检查技术已知有涡流探伤，即在试验体中流过涡电流，并检测该涡电流的变化作为试验线圈的变化。当试验线圈与试验体之间的距离(离开量)发生变化时，由于会产生大的噪音而妨碍检查，因此进行了二维探伤探针的开发(专利文献1)、θ探针的开发(专利文献2)。另外，通过利用了电磁感应的钢筋探测方法能够得到条痕、直径等各种信息(专利文献3)。

在先技术文献

非技术文献

非技术文献1：星川洋，特集，渦流探傷(涡流探伤)最近の渦流探傷の動向(最近的涡流探伤的动向)，検査技術(检查技术)Vol.9，No.1，1页～5页，2004年1月1日发行；

非技术文献2：廣島龍夫、藤本貴司、松永覚，特集渦流探傷(涡流探伤)θプローブを用いた溶接部と機械部品の探傷(使用了θ探针的焊接部和机械部件的探伤)，検査技術(检查技术)Vol.9，No.1，10页～14页，2004年1月1日发行；

非技术文献3：小井戸純司，特集渦流探傷(涡流探伤)電磁誘導を利用した鉄筋探査(利用了电磁感应的钢筋探测)，検査技術(检查技术)Vol.9，No.1，15页～19页，2004年1月1日发行；

非技术文献4：橋本光男(桥本光男)，特集渦流探傷(涡流探伤)渦流探傷における解析技術の現状(涡流探伤中的解析技术的现状)，検査技術(检查技术)Vol.9，No.1，6页～9页，2004年1月1日发行；

非技术文献5：星川洋、小川潔、三橋宗太郎，一様渦電流プローブによる磁性体の渦流探傷と漏洩磁束探傷について(关于利用均匀涡电流探针的磁性体的涡流探伤和泄漏磁通探伤)，非破壊検査(非破坏检查)第54卷第2号，2005年2月。

发明内容

发明所要解决的问题

在这些技术中，无法以高灵敏度简便地判断有无各种物体、检查对象物是否与成为基准的标准的物体不同等。

因此，本发明的目的在于提供检查装置、检查方法以及用于其的非接触式传感器，能够高灵敏度且简便地判断有无检查对象物、与成为基准的标准的物体的异同等。

用于解决问题的手段

本发明具有以下构思。

[1]一种检查装置，被安装有非接触式传感器，

所述非接触式传感器包括激励线圈、第一检测线圈以及第二检测线圈，通过所述激励线圈、所述第一检测线圈以及所述第二检测线圈构成磁回路，所述第一检测线圈与所述第二检测线圈在磁回路上对称地构成，

所述检查装置包括：

第一输入部，被输入来自所述第一检测线圈的信号；

第二输入部，被输入来自所述第二检测线圈的信号；