[发明专利]超声波清洗设备以及利用其的超声波清洗方法

说明书

本发明公开一种利用超声波对加工材料的表面进行清洗的超声波清洗设备及利用其的超声波清洗方法。所述超声波清洗设备包括：第一清洗单元，以能够沿上下方向及水平方向移动的方式设置，包括向所述加工材料的上表面侧射出超声波的上部超声波发生器；以及第二清洗单元，在进行清洗工艺时，在其内部设置所述加工材料，包括向所述加工材料的下表面侧射出超声波的下部超声波发生器。

技术领域

本发明涉及一种利用超声波对加工材料的表面进行清洗的超声波清洗设备及利用其的超声波清洗方法。

背景技术

激光加工设备利用特定的光学系统向加工材料照射自激光光源出射的激光束，由此执行如标记(marking)、蚀刻(etching)、冲孔(punching)、刻划(scribing)、切割(dicing)等的激光加工工艺。另一方面，在执行此种激光加工工艺后，会在加工材料的表面附着有因激光加工产生的污染物质。为了去除此种污染物质，使用利用包括超声波发生器的超声波清洗设备对加工材料的表面进行清洗的方法。然而，在现有的超声波清洗设备中，在加工材料受到污染的表面位于超声波发生器的相对侧的情形时，需旋转加工材料而较为烦杂，存在清洗设备的尺寸变大，因此而产生的清洗设备的制作费用也增加的问题。

发明内容

[发明所要解决的问题]

本发明的实施例提供一种利用超声波对加工材料的表面进行清洗的超声波清洗设备及利用其的超声波清洗方法。

[解决问题的技术手段]

在本发明的一一方案中，

提供一种超声波清洗设备，其是利用超声波对加工材料的表面进行清洗的清洗设备，上述超声波清洗设备包括：

第一清洗单元，以可沿上下方向及水平方向移动的方式设置，包括向上述加工材料的上表面侧射出超声波的上部超声波发生器；以及

第二清洗单元，在进行清洗工艺时，在其内部设置上述加工对象物，包括向上述加工材料的下表面侧射出超声波的下部超声波发生器。

上述第一清洗单元可还包括向上述加工材料的彼此相对的两侧面侧射出超声波的侧面超声波发生器。

上述第一清洗单元可还包括：第一侧面超声波发生器，向上述加工材料的彼此相对的第一两侧面侧射出超声波；以及第二侧面超声波发生器，向上述加工材料的彼此相对的第二两侧面侧射出超声波。

上述第二清洗单元可还包括：容器；以及清洗液，填充至上述容器的内部，以便浸泡上述加工材料。例如，上述清洗液可包括去离子水(DI water)。

上述下部超声波发生器可设置至上述容器的底部，上述加工材料设置至上述下部超声波发生器上。此处，上述加工材料能够以通过支持台而远离上述下部超声波发生器的上表面的方式设置。上述加工材料可安装至治具(jig)而设置至上述容器的内部。

在进行清洗工艺时，上述上部超声波发生器能够以与上述清洗液接触的方式设置。

在本发明的另一方案中，

提供一种超声波清洗方法，其是利用超声波清洗设备对加工材料的表面进行清洗，上述超声波清洗设备包括：第一清洗单元，以可沿上下方向及水平方向移动的方式设置，包括上部超声波发生器；以及第二清洗单元，包括下部超声波发生器；上述超声波清洗方法包括如下步骤：

上述上部超声波发生器向上述加工材料的上表面侧射出超声波而对上述加工材料的上表面进行清洗的步骤；以及

上述下部超声波发生器向上述加工材料的下表面侧射出超声波而对上述加工材料的下表面进行清洗的步骤。

可同时或依次清洗上述加工材料的上表面及下表面。

上述第二清洗单元可还包括容器及填充至上述容器的内部的清洗液。