[发明专利]辐射线检测元件以及辐射线检测装置

说明书

本发明目的在于：提供不降低气体放大率地提升分辨率的辐射线检测装置。根据本发明的一个实施方式，提供辐射线检测元件，特征在于，其具备多个像素电极，所述像素电极具有配置于绝缘构件的第1面的有开口部的第1电极和配置于第1电极的开口部的第2电极，多个像素电极在行方向以及列方向上排列，在行方向以及列方向上，像素电极的间距为380μm以下，第1电极与第2电极的面积比率为14.5∶1到154.6∶1的范围。

技术领域

本发明涉及辐射线检测元件以及辐射线检测装置。特别涉及构成辐射线检测元件的像素电极的结构。

背景技术

利用像素型电极所带来的气体放大的辐射线检测器的研究不断推进。利用像素型电极所带来的气体放大的辐射线检测装置的特征在于，在现有的检测装置的辐射线检测中不充分的检测区域、特别是图像成像中，能大面积且实时成像。

关于利用像素型电极所带来的气体放大的辐射线检测装置的结构，例如能参考专利文献1。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP专利第3354551号公报

发明内容

发明要解决的课题

在现有的像素型电极的辐射线检测装置中，若为了改善分辨率而减小像素电极的间距地配置，气体放大率降低就会成为问题。

为此本发明目的之一在于，在辐射线检测元件中不降低气体放大率地提升分辨率。另外，本发明的目的之一在于，提供不降低气体放大率地提升分辨率的辐射线检测装置。

用于解决课题的手段

根据本发明的一个实施方式，提供一种辐射线检测元件，其具备多个像素电极，该像素电极具有：第1电极，其配置于绝缘构件的第1面，具有开口部；和第2电极，其配置于第1电极的开口部，多个像素电极在行方向以及列方向上排列，在行方向以及列方向上，像素电极的间距为380μm以下，第1电极与第2电极的面积比率是14.5∶1到154.6∶1的范围。

像素电极也可以，间距为300μm以下，第1电极与第2电极的面积比率是15.9∶1到69.1∶1的范围。

像素电极也可以，间距为200μm，第1电极与第2电极的面积比率是14.5∶1到21.7∶1的范围。

根据本发明的一个实施方式，提供一种辐射线检测元件，具备多个像素电极，该像素电极具有：第1电极，其配置于绝缘构件的第1面，具有开口部；和第2电极，其配置于第1电极的开口部，多个像素电极在行方向以及列方向上排列，在行方向以及列方向上，像素电极的间距为380μm以下，将P设为像素电极的间距，将C设为第1电极彼此的间隔，将R设为第2电极的半径，将G设为第1电极与第2电极的间隔，这时满足200(μm)≤P≤380(μm)、10(μm)≤C、30(μm)≤R，第1电极与第2电极的面积比率是14.5∶1到[(P-C)P-(R+G)²×3.14]/(3.14×R²)∶1的范围。

本发明的一个实施方式所涉及的辐射线检测装置可以具备所述辐射线检测元件。

辐射线检测装置也可以，分辨率为95μm以下，气体放大率是2000以上。

发明的效果

根据本发明的一个实施方式，能提供不降低气体放大率地提升分辨率的辐射线检测装置。

附图说明

图1是表示具备本发明的一个实施方式所涉及的辐射线检测元件的辐射线检测装置的一例的示意图。

图2A是表示本发明的一个实施方式所涉及的辐射线检测元件的截面图。

图2B是表示本发明的一个实施方式所涉及的辐射线检测元件的俯视图。