[发明专利]辐射线检测元件以及辐射线检测装置

权利要求书

1.一种辐射线检测元件，其特征在于，具备多个像素电极，所述像素电极具有：

第1电极，其配置于绝缘构件的第1面，具有开口部；和

第2电极，其配置于所述第1电极的所述开口部，

多个所述像素电极排列在行方向以及列方向上，

在所述行方向以及列方向上，所述像素电极的间距为300μm以下的情况下，所述第1电极与所述第2电极的面积比率是15.9∶1到69.1∶1的范围。

2.根据权利要求1所述的辐射线检测元件，其特征在于，

在所述像素电极的间距为200μm的情况下，所述第1电极与所述第2电极的面积比率是14.5∶1到21.7∶1的范围。

3.一种辐射线检测元件，其特征在于，具备多个像素电极，所述像素电极具有：

第1电极，其配置于绝缘构件的第1面，具有开口部；和

第2电极，其配置于所述第1电极的所述开口部，

多个所述像素电极排列在行方向以及列方向上，

在将P设为像素电极的间距，将C设为第1电极彼此的间隔，将R设为第2电极的半径，将G设为第1电极与第2电极的间隔时，满足200μm≤P≤380μm、10μm≤C、15μm≤R，

在所述行方向以及列方向上，所述像素电极的间距为300μm以下的情况下，所述第1电极与所述第2电极的面积比率是15.9∶1到[(P-C)P-(R+G)²×3.14]/(3.14×R²)∶1的范围。

4.根据权利要求3所述的辐射线检测元件，其特征在于，

在所述像素电极的间距为200μm的情况下，所述第1电极与所述第2电极的面积比率是14.5∶1到[(P-C)P-(R+G)²×3.14]/(3.14×R²)∶1的范围。

5.一种辐射线检测装置，具备权利要求1～4中任一项所述的所述辐射线检测元件。

6.根据权利要求5所述的辐射线检测装置，其特征在于，

分辨率是95μm以下，气体放大率是2000以上。