[发明专利]输送系统

说明书

本发明提供一种输送系统。该输送系统具备轨道、多台高架输送车、保管装置以及根据运用模式控制高架输送车和本地台车的动作的输送控制器。保管装置具有保管部和能够在装置端口和保管部之间移载FOUP的本地台车。输送控制器能够在禁止本地台车从装置端口向保管部移载的移载动作的第一模式、禁止高架输送车向保管部移载的移载动作和本地台车从保管部向装置端口移载的移载动作的第二模式以及不限制本地台车的移载动作的第三模式之间切换运用模式。

技术领域

本发明涉及输送系统。

背景技术

例如作为用于半导体制造工厂的输送系统，已知有具备高架输送车、作为高架输送车的行走路径的轨道、设置于轨道与半导体处理装置的装置端口之间的保管部(缓冲装置)以及在装置端口和保管部之间交接被输送物的移载机构(本地台车)的输送系统(参见专利文献1)。

在上述专利文献1中记载的输送系统中，高架输送车和移载机构都构成为在与装置端口和保管部这两者之间实施对被输送物的交接。

专利文献1：日本特开2013-153193号公报

针对如上所述的输送系统有提高半导体处理装置的设备利用率的要求。另外，在如上述输送系统那样利用高架输送车和移载机构这两者的系统中，通过根据输送系统的状况恰当地运用两者，有可能提高半导体处理装置的设备利用率。

发明内容

因此，本发明的一个方式的目的在于，提供能够根据输送系统的状况提高装置的设备利用率的输送系统。

本发明的一个方式的输送系统具备：轨道；多台输送车，多台输送车沿轨道行走，输送被输送物；保管装置，其具有：保管部，保管部能够供输送车交接被输送物；和移载机构，移载机构能够在与能供输送车交接被输送物的装置端口和保管部之间移载被输送物；以及控制器，其根据所设定的运用模式，控制输送车和移载机构的动作，控制器能够如下的模式之间切换运用模式，即，在禁止由移载机构从装置端口向保管部移载被输送物的移载动作的第一模式，禁止由输送车向保管部移载被输送物的移载动作和由移载机构从保管部向装置端口移载被输送物的移载动作的第二模式，以及允许由移载机构从装置端口向保管部移载被输送物的移载动作和从保管部向装置端口移载被输送物的移载动作这两者的第三模式。

在上述输送系统中，就运用模式而言，控制器能够在限制能够由移载机构实施的移载动作(即，从装置端口向保管部移载的移载动作和从保管部向装置端口移载的移载动作)中的一者的第一模式和第二模式以及不限制移载机构的移载动作的第三模式之间，切换运用模式。通过将运用模式设定为第一模式，能够优先向装置端口供给被输送物。通过将运用模式设定为第二模式，能够优先从装置端口回收被输送物(向保管部退避)。通过将运用模式设定为第三模式，能够均衡地执行对被输送物的供给和回收。因此，采用上述输送系统，通过根据输送系统的状况切换控制器的运用模式，能够恰当地切换对被输送物的供给和回收的优先度，能够提高装置的设备利用率。

在上述输送系统中，也可以是，保管部包括在输送车的行走方向上设置得比装置端口靠上游侧的第一保管部和在输送车的行走方向上设置得比装置端口靠下游侧的第二保管部，控制器禁止由输送车向第二保管部移载被输送物的移载动作并且禁止由移载机构从装置端口向第一保管部移载被输送物的移载动作。由此，在第一模式～第三模式中的任一模式下，都能够实现从输送车的行走方向上的上游侧向下游侧单向地输送被输送物的结构。其结果是，能够在各模式中的可能的移载动作的范围内，由1台输送车向上游侧的端口(第一保管部或者装置端口)供给被输送物，对在下游侧的端口(装置端口或者第二保管部)载置的处理完毕的被输送物进行回收。因此，采用上述输送系统，也能够实现输送车的运用效率的提高。

在上述输送系统中，也可以是，控制器能够针对每个保管装置切换运用模式。由此，能够根据每个保管装置的状况，以保管装置为单位恰当地切换运用模式。