[发明专利]检查设备、感测设备、灵敏度控制设备、检查方法和程序有效
| 申请号: | 201680035821.6 | 申请日: | 2016-06-10 |
| 公开(公告)号: | CN107709942B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
| 发明(设计)人: | 高岛昌利;村上芳弘;森浩史 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
| 主分类号: | G01J3/51 | 分类号: | G01J3/51;A01G7/00;G01N21/27 |
| 代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 张荣海 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检查 设备 灵敏度 控制 方法 程序 | ||
1.一种检查设备,包括:
检测部件,所述检测部件被配置成检测从待检查的检查对象反射的环境光的多个不同波长区的分量,并且包括多个像素;和
控制部件,所述控制部件被配置成控制所述多个不同波长区的分量中的每一个的灵敏度,
其中控制部件通过计算指示由检测部件检测的从检查对象反射的光的全部波长区中的检测水平的柱状图,并基于特定分光分量的柱状图判定对于检测部件是否适当地设定了灵敏度,来控制灵敏度,
其中控制部件按照检测部件对特定分光分量的检测水平在预定范围内的方式,控制灵敏度,
其中检测部件还检测从具有已知反射特性的参照物体反射的环境光的各个分光分量,以及
控制部件通过参照从参照物体反射的光的分光分量,校准特定分光分量中的第一特定分光分量和第二特定分光分量,第一特定分光分量和第二特定分光分量用于计算要用于检查对象的检查的指数,
其中控制部件确定用于进行校正以致从参照物体反射的光的第一特定分光分量和第二特定分光分量处于彼此相同的水平的校准增益,并根据所述校准增益校正从检查对象反射的光的第一特定分光分量和第二特定分光分量。
2.按照权利要求1所述的检查设备,其中检测部件包括
感测元件,所述多个像素在所述感测元件中平面排列,和
分光器,所述分光器被配置成以致对于感测元件的每个像素,都布置用于透过分光分量的滤光器。
3.按照权利要求2所述的检查设备,其中检测部件包括
把光分成预定数目的方向的分束器,和
对于由分束器把光分成的各个方向布置的预定数目的分光器和感测元件。
4.按照权利要求2所述的检查设备,其中分光器时序地切换分光分量,以进行分光,以及
每当分光器从所述分光分量中的一个分光分量切换到另一个分光分量时,感测元件进行多次检测操作。
5.按照权利要求1所述的检查设备,其中单独设置检测从检查对象反射的光的检测部件单元,和检测从参照物体反射的光的检测部件单元。
6.按照权利要求1所述的检查设备,还包括:
被配置成检测环境光的环境光检测部件。
7.一种感测设备,包括:
感测元件,所述感测元件从平面排列的多个像素中的每个像素,检测从要检查的检查对象反射的环境光的多个不同波长区的分量;和
控制部件,所述控制部件被配置成控制所述不同波长区的分量中的每个分量的灵敏度,
其中控制部件通过计算指示由感测元件检测的从检查对象反射的光的全部波长区中的检测水平的柱状图,并基于特定分光分量的柱状图判定对于感测元件是否适当地设定了灵敏度,来控制灵敏度,
其中控制部件按照感测元件对特定分光分量的检测水平在预定范围内的方式,控制灵敏度,
其中感测元件还检测从具有已知反射特性的参照物体反射的环境光的各个分光分量,以及
控制部件通过参照从参照物体反射的光的分光分量,校准特定分光分量中的第一特定分光分量和第二特定分光分量,第一特定分光分量和第二特定分光分量用于计算要用于检查对象的检查的指数,
其中控制部件确定用于进行校正以致从参照物体反射的光的第一特定分光分量和第二特定分光分量处于彼此相同的水平的校准增益,并根据所述校准增益校正从检查对象反射的光的第一特定分光分量和第二特定分光分量。
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