[发明专利]玻璃板的制造方法及其制造装置

说明书

在使上部结构体(10)的下表面(10a)与具有供气口(22)以及排气口(26)的下部结构体(11)的上表面(11a)对置配置而形成于对置的两个面(10a、11a)彼此之间的处理空间(13)内，利用从供气口(22)喷出并向排气口(26)吸入的处理气体(5)对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(22)与排气口(26)在玻璃板搬运方向(A)上位于分离开的位置，组装于下部结构体(11)的特定搬运机构(9)从下方支承玻璃板(3)，以供进行该玻璃板(3)的搬运，将特定搬运机构(9)配置在除了供气口(22)与排气口(26)彼此之间的区域之外的区域。

技术领域

本发明涉及具有使用氟化氢等处理气体对玻璃板实施蚀刻处理的工序的玻璃板的制造方法及其制造装置。

背景技术

众所周知，在平板显示器(FPD)、智能手机、平板型PC等移动设备、其他的各种电子器件等中组装有各种板厚、尺寸的玻璃板，其中，平板显示器以液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器、场发射显示器等为代表。

在用于制作这种成为最终产品的玻璃板的原来的玻璃板的制造工序中，可能产生因静电的带电而引起的问题。例如，在作业台上载置玻璃板而实施规定的处理时，可能产生因静电的带电而玻璃板贴附于作业面的事态。因此，在使完成规定的处理的玻璃板从作业台剥离时，可能导致该玻璃板的破损。

作为上述问题的对策，正在进行如下的尝试：将氟化氢等处理气体喷涂于玻璃板而实施蚀刻处理，使该玻璃板的表面粗糙化，由此来解决上述的静电的带电所引起的问题。

作为该具体例，根据专利文献1，公开了如下的方案：在沿着一定的搬运路径搬运的玻璃板通过处理空间时，利用从喷出嘴的喷出口喷出并向吸嘴的吸入口吸入的处理气体来对该玻璃板的下表面实施蚀刻处理。

详细地说，在该文献公开的蚀刻装置中，在上部结构体(上侧的结构部)的下表面与下部结构体(下侧的结构部)的上表面相互间形成有用于对搬运中的玻璃板的下表面实施蚀刻处理的处理空间。在该情况下，上部结构体仅由顶板形成。另一方面，下部结构体通过将配置于玻璃板的搬运方向后侧(搬运路径的上游侧)的喷出嘴、配置于玻璃板的搬运方向前侧(搬运路径的下游侧)的吸嘴、以及夹设于该两个喷嘴间的底板一体化而形成。而且，作为下部结构体的喷出嘴、底板以及吸嘴的各上表面成为共面状态。因此，在下部结构体的上表面形成有向处理空间喷出处理气体的喷出口和从处理空间吸入处理气体的吸入口。

此外，该蚀刻装置具有在处理空间内从下方支承玻璃板并进行搬运的搬运辊。该搬运辊组装于下部结构体。详细而言，在下部结构体的底板的下方配设有在与玻璃板的下表面平行的方向且与玻璃板搬运方向正交的方向上延伸的辊轴，在该辊轴的轴向多个部位隔着规定的间隔而设置有搬运辊。而且，搬运辊的上端部通过底板的孔而比底板的上表面向上方突出，由此面对处理空间内。因此，搬运辊起到在处理空间内从下方支承玻璃板并进行搬运的作用。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2011/105331号

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1公开的蚀刻装置中，在形成于下部结构体的上表面的喷出口与吸入口彼此之间的区域配置有搬运辊。当采用这样的搬运辊的配置方式时，从喷出口喷出并向吸入口吸入的处理气体的流动因搬运辊的存在而紊乱，因此，玻璃板的下表面与处理气体的反应变得不均匀。因此，可能导致玻璃板的下表面的粗糙化产生不均匀这样的问题。

作为避免这种问题的对策，考虑从下部结构体去掉用于搬运玻璃板的搬运辊，从接近下部结构体的两侧的位置起分别朝向两侧外部地配置搬运辊。然而，在这种单纯的方法中，在从下部结构体去掉了搬运辊的部位，相邻的搬运辊彼此之间的距离过长，因此，产生以下所示的致命问题。