[发明专利]具有活性钎焊的压力传感器

权利要求书

1.一种用于制造压力传感器的方法，

所述压力传感器包括经由活性钎焊接合部(7)彼此连接的两个部件，所述活性钎焊接合部(7)通过利用活性硬焊料或活性钎焊料进行的活性硬焊或活性钎焊制造，其中所述两个部件中的一个是可接触压力(p)的、依赖于压力地可弹性变形的测量膜(1)，并且所述两个部件中的另一个是主体(3)，其中所述测量膜(1)和所述主体(3)通过将所述测量膜(1)的外边缘与所述主体(3)的端部的面向所述测量膜(1)的外边缘连接的活性钎焊接合部(7)连接，由此创建压力室(5)，

-所述方法包括以下步骤：基于所述活性钎焊接合部(7)的尺寸来确定用于制造所述压力传感器的活性钎焊接合部(7)的活性硬焊料或活性钎焊料以使得所述活性钎焊接合部(7)具有取决于所述活性钎焊接合部(7)的尺寸和所述两个部件的材料，并且与所述两个部件中的至少第一部件的热膨胀系数匹配的热膨胀系数，所述第一部件是所述测量膜(1)，

-其中，执行所述匹配，使得所述活性钎焊接合部(7)的热膨胀系数和所述第一部件的热膨胀系数之间的差异具有小于所述活性硬焊料或活性钎焊料的热膨胀系数与所述第一部件的热膨胀系数之间的差异的绝对值，

-其中，制造所述活性钎焊接合部的活性硬焊料或活性钎焊料的所述确定包括以下步骤：

执行至少一个测量，其中，确定利用活性硬焊料或活性钎焊料制成的活性钎焊接合部(7’)的热膨胀系数(α_AHL)，其中所述活性钎焊接合部(7’)的尺寸等于所述压力传感器的活性钎焊接合部(7)的尺寸，并且其中两个测量主体(19)，通过所述活性钎焊接合部(7’)彼此连接，其中每个测量主体(19)的厚度大于所述压力传感器的所述膜(1)的厚度，其中，所述测量主体(19)在相互面向的端部上具有电极(21)，并且所述电极(21)形成具有取决于其电极间隔的电容的电容器，所述电极间隔取决于所述活性钎焊接合部(7’)的依赖于温度的高度(h)，

并且其中，所述至少一个测量包括下述步骤：

-在所述活性钎焊接合部(7’)的至少两个不同的温度下测量所述电容器的电容(C(T)、C(T₀))，并且基于所述电容器的电容(C(T)、C(T₀))对所述活性钎焊接合部(7’)的高度(h)的依赖性，确定所述活性钎焊接合部(7’)的热膨胀系数。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述两个测量主体(19)的材料是所述压力传感器的第一部件的材料。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，基于所述电容器的电容(C(T)、C(T0))对所述活性钎焊接合部(7’)的高度(h)的依赖性和取决于所述电极(21)的电极面积(A(T))的温度依赖性的测量的电容(C(T)、C(T0))的温度依赖性，确定所述活性钎焊接合部(7’)的热膨胀系数。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，

-所述电极(21)具有相同的构造且是圆盘形的，并且

-所述电极(21)的电极面积(A(T))的温度依赖性基于所述电极(21)的依赖于温度的直径(d(T))被考虑，所述电极(21)的依赖于温度的直径(d(T))根据电极膨胀系数(α_E)随温度近似线性地升高。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述电极膨胀系数(α_E)是基于利用第一装置和第二装置执行的电容测量确定的电极膨胀系数(α_E)，其中，所述第一装置包括：-两个测量主体(19)，

-加热装置(23)，以及

-测量电路(25)，所述测量电路(25)连接到所述电极(21)，所述测量电路(25)测量在所述活性钎焊接合部(7’)的至少两个不同的温度下所述电容器的电容，

并且其中，所述第二装置不同于所述第一装置仅在于所述第二装置的电极(21)的直径不同于所述第一装置的电极(21)的直径。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，提供具有电极的装置，所述电极(21)是盘形的并且与所述活性钎焊接合部(7’)的高度(h)相比具有比所述活性钎焊接合部(7’)的高度(h)小10²的数量级的盘厚度。