[发明专利]外观检查装置

说明书

本发明提供一种使光掩膜的检查迅速化的技术。在外观检查装置中，透射照明光源照射透射光掩膜的光。反射照明光源在透射照明光源的照射中照射被光掩膜反射的光。物镜将透射过光掩膜的透射光和由光掩膜反射的反射光转换为平行光。分光部将物镜转换了的平行光分离为透射光和反射光。透射光用成像透镜对分光部分离出的透射光进行成像。反射光用成像透镜对分光部分离出的反射光进行成像。拍摄部对透射光用成像透镜成像出的透射光和反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。

技术领域

本发明涉及一种外观检查装置，尤其是，涉及一种对液晶或有机EL等平板显示器的制造工序中使用的中-大型光掩膜进行检查的外观检查装置。

背景技术

随着显示器的高精细化，针对作为其原型的中-大型光掩膜的检查精度的要求越来越高。也提出有各种用于检查这些光掩膜的缺陷的技术。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-137093号公报

发明内容

发明所要决的问题

如专利文献1公开那样，为了对光掩膜的缺陷进行检查，使光透射光掩膜的透射系统的检查和由光掩膜使光反射的反射系统的检查等较为有效。但是，由于透射系统的检查和反射系统的检查需要各自的拍摄工序，因此，或检查花费时间、或需要多个拍摄装置。

本发明为鉴于上述问题而完成的发明，其目的在于，提供一种使光掩膜的检查迅速化的技术。

用于解决问题的方法

为了解决上述问题，本发明的一个方式的外观检查装置具备：透射照明光源，其照射透射光掩膜的光；反射照明光源，其在透射照明光源的照射中照射被光掩膜反射的光；物镜，其将透射过光掩膜的透射光和由光掩膜反射的反射光转换为平行光；分光部，其将物镜转换了的平行光分离为透射光和反射光；透射光用成像透镜，其对分光部分离出的透射光进行成像；反射光用成像透镜，其对分光部分离出的反射光进行成像；拍摄部，其对透射光用成像透镜成像出的透射光和反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。

也可以为，拍摄部在同一拍摄元件的不同的区域中分别对透射光用成像透镜成像出的透射光和反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。

也可以为，还具备遮光部件，该遮光部件对透射光用成像透镜成像出的透射光和反射光用成像透镜成像出的反射光的串扰进行抑制。

也可以为，物镜具有倍率不同的多个透镜。也可以为，外观检查装置还具备对多个透镜进行切换的物镜切换部。也可以为，透射光用成像透镜和反射光用成像透镜分别具备与基于物镜切换部的透镜的切换联动而对焦点位置进行调节的焦点调节功能。

也可以为，反射光用成像透镜和透射光用成像透镜分别具备与基于透镜切换部的切换联动而对色彩倍率进行调节的色彩倍率调节功能。

也可以为，由物镜和反射光用成像透镜组成的光学系统的光学特性与由物镜和透射光用成像透镜组成的光学系统的光学特性在将穿过的光的波长λ设为第一轴、将焦点错位量s设为第二轴的曲线图中，在透射光的波长设为λg、反射光的波长设为λe、d设为微分算子、T设为规定的阈值时，(ds/dλ)_λg＜T且(ds/dλ)_λe＜T成立。

发明效果

根据本发明，能够提供一种使光掩膜的检查迅速化的技术。

附图说明

图1为示意性地表示实施方式所涉及的外观检查装置的内部结构的图。

图2(a)-(b)为示意性地表示实施方式所涉及的外观检查装置拍摄到的光掩膜的图像的图。