[发明专利]外观检查装置

权利要求书

1.一种外观检查装置，具备：

透射照明光源，其照射透射光掩膜的光；

反射照明光源，其在所述透射照明光源的照射中照射被所述光掩膜反射的光；

物镜，其将透射过所述光掩膜的透射光和由所述光掩膜反射的反射光转换为平行光；

分光部，其将所述物镜转换了的平行光分离为透射光和反射光；

透射光用成像透镜，其对所述分光部分离出的透射光进行成像；

反射光用成像透镜，其对所述分光部分离出的反射光进行成像；以及

拍摄部，其对所述透射光用成像透镜成像出的透射光和所述反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄，

所述分光部具备第一分色镜和第二分色镜，

在所述第一分色镜的、与所述反射照明光源照射的光所入射的面相反一侧的面，配置有光学部件，

所述光学部件针对所述反射照明光源照射的光作为偏振光束分光器来发挥作用，并且作为使所述透射光100％反射的选色镜来发挥作用，

所述光学部件使由所述光掩膜反射的反射光反射并且使所述透射光反射，

由所述第二分色镜对被所述光学部件反射的、所述透射光和由所述光掩膜反射的反射光进行分离，

在所述物镜与所述分光部的所述第一分色镜之间配置有1/4波阻片。

2.如权利要求1所述的外观检查装置，其中，

所述拍摄部在同一拍摄元件的不同的区域中分别对所述透射光用成像透镜成像出的透射光和所述反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。

3.如权利要求2所述的外观检查装置，其中，

所述外观检查装置还具备遮光部件，该遮光部件对所述透射光用成像透镜成像出的透射光和所述反射光用成像透镜成像出的反射光的串扰进行抑制。

4.如权利要求1～3中任一项所述的外观检查装置，其中，

所述物镜具有倍率不同的多个透镜，

所述外观检查装置还具备对所述多个透镜进行切换的物镜切换部，

所述透射光用成像透镜和所述反射光用成像透镜分别具备与基于所述物镜切换部的透镜的切换联动而对焦点位置进行调节的焦点调节功能。

5.如权利要求4所述的外观检查装置，其中，

所述反射光用成像透镜和所述透射光用成像透镜分别具备与基于所述透镜切换部的切换联动而对色彩倍率进行调节的色彩倍率调节功能。

6.如权利要求1～3中任一项所述的外观检查装置，其中，

由所述物镜和所述反射光用成像透镜组成的光学系统的光学特性与由所述物镜和所述透射光用成像透镜组成的光学系统的光学特性在将穿过的光的波长λ设为第一轴、将焦点错位量s设为第二轴的曲线图中，在所述透射光的波长设为λg、所述反射光的波长设为λe、d设为微分算子、T设为规定的阈值时，

(ds/dλ)_λg＜T且(ds/dλ)_λe＜T成立。