[发明专利]压印用的模板制造装置

说明书

实施方式的压印用的模板制造装置(1)具备：工作台(3)，对模板(W)进行支承，该模板(W)具备基体(11)和凸部(12)，该基体(11)具有主面，该凸部(12)设于主面上，具有与主面相反一侧的端面，在该端面上形成有凹凸图案；供给头(4)，向工作台(3)上的模板(W)供给液状的疏液材料；移动机构(Y轴移动机构(6)、一对X轴移动机构(8A)及(8B))，使工作台(3)以及供给头(4)在沿着工作台(3)的方向上相对移动；以及控制部(9)，对供给头(4)以及移动机构进行控制，以使供给头(4)避开凹凸图案而至少在凸部(12)的侧面涂布液状的疏液材料。

技术领域

本发明的实施方式涉及压印用的模板制造装置。

背景技术

近年来，作为在半导体基板等被处理物上形成细微的图案的方法，提出了一种压印法。该压印法是如下方法：将形成有凹凸图案的模具(原版)按压于涂布在被处理物上的抗蚀剂等液状的被转印物(例如光固化性树脂)的表面，之后，从形成有凹凸图案的面的相反侧的面照射光，使模具脱离固化后的被转印物，从而使凹凸图案转印于被转印物。作为按压于液状的被转印物的表面的模具，使用了模板。该模板也被称作模塑、压印模或者压模等。

模板由透光性高的石英等形成，以便在使前述的被转印物固化的工序(转印工序)中，容易被紫外线等光透过。在该模板的主面设有凸部(凸状的部位)，在该凸部形成有用于向液状的被转印物按压的凹凸图案。例如，将具有凹凸图案的凸部称作台地(mesa)部，将模板的主面中除台地部以外的部分称作非台地(オフメサ)部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5537517号公报

发明内容

发明将要解决的课题

然而，若将模板按压于液状的被转印物，则液状的被转印物虽然是少量但还是从凸部的端部渗出，渗出的液状的被转印物有时会沿着凸部的侧面(侧壁)而隆起。由于附着于凸部的侧面的被转印物通过光照射而保持其状态地固化，因此若将模板脱离被转印物，则被转印物存在隆起部分，将会产生图案异常。

另外，在模板从被转印物脱离时，有时被转印物的隆起部分会紧贴于模板侧，之后，在某一时刻掉落到被转印物上而成为灰尘。若模板被按压于该掉落的灰尘上，则会导致模板侧的凹凸图案破损，或者掉落的灰尘进入模板侧的凹凸图案间并成为异物，因此将会产生模板异常。而且，若利用这种具有破损的凹凸图案的模板、或被异物进入了的模板继续进行转印，则被转印物的图案会产生缺陷，并产生图案异常。

本发明将要解决的课题在于，提供一种能够抑制图案异常以及模板异常的产生的、制造压印用的模板的模板制造装置。

用于解决课题的手段

实施方式的压印用的模板制造装置具备：工作台，对模板进行支承，该模板具备基体和凸部，该基体具有主面，该凸部设于主面上，具有与主面相反一侧的端面，在该端面上形成有向液状的被转印物按压的凹凸图案；供给头，向工作台上的模板供给将液状的被转印物弹开的液状的疏液材料；移动机构，使工作台以及供给头在沿着工作台的方向上相对移动；以及控制部，对供给头以及移动机构进行控制，以使供给头避开凹凸图案而至少在凸部的侧面涂布液状的疏液材料。

发明效果

根据本发明的实施方式，能够制造可抑制图案异常以及模板异常的产生的压印用的模板。

附图说明

图1是表示第1实施方式的压印用的模板制造装置的概略结构的图。

图2是用于说明第1实施方式的涂敷工序的第1工序剖面图。

图3是用于说明第1实施方式的涂敷工序的第2工序剖面图。

图4是用于说明第1实施方式的涂敷工序的第3工序剖面图。