[实用新型]基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备

权利要求书

1.一种基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，其特征是，包括依次经输送料道连通的进样室（1）、黑硅制备腔室（2）、介质膜制备腔室（4）、掺杂膜制备腔室（6）、透明电极制备腔室（8）以及出样室（9）；

各腔室上分别设置有用于对其进行抽真空的真空泵组；各腔室内分别设置有滚轮组，镂空载板（12）可在各室之间的滚轮组上移动；镂空载板（12）用以放置硅片，镂空的四角有四个小挂钩，镂空载板（12）的材质为导电材质；各输送料道上分别设置有真空阀；

镂空载板（12）带硅片进入介质膜制备腔室（4）对硅片上下面制备钝化膜；

镂空载板（12）带硅片进入掺杂膜制备腔室（6）对硅片的上下面分别至少分两次进行掺杂膜的制备，制备时时间上进行错开；

镂空载板（12）带硅片进入透明电极制备腔室（8）对硅片上下面制备ITO薄膜。

2.根据权利要求1所述的基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，其特征是，所述的介质膜制备腔室（4）内的滚轮组上下方分别设置有阳极组，阳极组包括至少4块阳极板（41），所述阳极板（41）宽度为16cm,长度120cm，每块阳极板（41）连接一个射频电源，阳极板（41）上开设有小孔，用于喷出工艺气体；

镂空载板（12）移动至介质膜制备腔室（4）内时做阴极，镂空载板（12）上下两端分别距离阳极板（41）的间距为3-5cm。

3.根据权利要求1所述的基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，其特征是，所述掺杂膜制备腔室（6）内的滚轮组上下方分别设置有阳极组，阳极组包括至少4块阳极板（41），所述阳极板（41）宽度为16cm,长度120cm，每块阳极板（41）连接一个射频电源，阳极板（41）上开设有小孔，用于喷出工艺气体；

镂空载板（12）移动至掺杂膜制备腔室（6）内时做阴极，镂空载板（12）上下两端分别距离阳极板（41）的间距为3-5cm。

4.根据权利要求1所述的基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，其特征是，所述透明电极制备腔室（8）内滚轮组的上下方分别设置有ITO靶材（81）做阳极，镂空载板（12）移动至第二壳体内时做阴极，所述镂空载板（12）的上下分别距离ITO靶材（81）的间距5-10cm，镂空载板（12）在该腔体中往复运动，以实现均匀溅射。

5.根据权利要求1所述的基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，其特征是，所述的黑硅制备腔室（2）和介质膜制备腔室（4）之间的输送料道上设置有第一过渡腔室（3），所述第一过渡腔室（3）的进出输送料道上分别设置有真空阀；

所述的介质膜制备腔室（4）和掺杂膜制备腔室（6）之间的输送料道上设置有第二过渡腔室（5），所述第二过渡腔室（5）的进出输送料道上分别设置有真空阀；

所述掺杂膜制备腔室（6）和透明电极制备腔室（8）之间的输送料道上设置有第三过渡腔室（7），所述第三过渡腔室（7）的进出输送料道上分别设置有真空阀；

各过渡腔室内分别设置有可往复运动的输送载板，过渡腔室上分别设置有真空泵组。

6.根据权利要求1所述的基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，其特征是，所述真空泵组包括真空泵以及蝶阀，所述蝶阀控制制程压强。

7.根据权利要求1所述的基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，其特征是，所述镂空载板（12）上镂空位置的排列为6*7，每个镂空位大小为156*156mm。