[实用新型]硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及硅棒质量检测技术领域，具体地说涉及一种硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置。

背景技术：

改良西门子法是生产多晶硅的主流方法，其生产周期约为100小时左右，在生产过程中轻微的问题都可能使硅产品产生质量缺陷带，影响多晶硅电性能指标。为判断产生质量缺陷带的原因，需要对质量缺陷位置进行准确测量，但是，由改良西门子法生产的多晶硅棒产品长度一般在2m以上，无法对整根硅棒进行质量检测，因此，需要用碳化钨锤将多晶硅破碎成小块硅料，再用质量缺陷探测仪对硅料截面进行检测。在检测过程中，需要一只手握着缺陷探测仪的检测探头对截面进行检测，当检测到某点存在质量缺陷时，另一只手握直尺测量缺陷点到硅料边缘的距离，以判定质量缺陷点发生的位置；但是，由于多晶硅的硬脆性，破碎的硅料截面会形成不规则的截断面，在使用直尺测量质量缺陷位置时，视线很难与所测位置垂直，常存在较大的误差，同一位置不同检测人员读数差别高达2mm，影响质量缺陷原因的判定。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种提高测量的准确性的硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置。

本实用新型由如下技术方案实施：硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置，其包括底座、物料固定座、固定杆、导向机构、滑动梁和质量缺陷探测仪，在所述底座顶部固定设有所述物料固定座，在所述物料固定座两侧的所述底座顶部分别固定设有一根竖直设置的固定杆；在每根所述固定杆与所述物料固定座相邻的一侧下部均水平固定设有一块支撑板，在每块所述支撑板顶部均固定设有一个所述导向机构；在两个所述导向机构之间上下滑动设有所述滑动梁，在所述滑动梁外部滑动设有滑动块，所述质量缺陷探测仪的检测探头侧部与所述滑动块固定连接；在所述滑动梁上方固定设有与所述滑动梁平行设置的刻度尺，在所述滑动块上固定设有指针，所述指针的中心线与所述检测针的中心线在一条直线上。

进一步的，所述物料固定座包括四块竖直设置的挡板，四块所述挡板依次首尾相接呈口字型结构；在任意三块所述挡板上均垂直螺接有至少两个螺栓；没有螺接所述螺栓的所述挡板相对于所述刻度尺垂直设置，且其内壁与所述刻度尺上的零刻度线在一个平面上。

进一步的，所述导向机构包括套管和弹簧，在所述套管管壁上开设有与所述固定杆相对设置的两个长孔，所述滑动梁两端分别穿过相邻的两个所述长孔，在所述滑动梁下方的所述套管内设有所述弹簧。

进一步的，在两根所述固定杆相对的侧壁上沿纵向开设有限位槽，所述滑动梁两端分别滑动设置在相邻的所述限位槽内。

本实用新型的优点：刻度尺与滑动梁始终平行，且指针与检测针的中心线在一条直线上，通过读取指针在刻度尺上所指刻度即可直接得知缺陷位置，读数方便，避免人工测量所造成的读数误差，提高测量的准确性。

附图说明：

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为图1的A-A剖视图。

底座1、物料固定座2、挡板2-1、螺栓2-2、固定杆3、限位槽3-1、导向机构4、套管4-1、长孔4-1-1、弹簧4-2、滑动梁5、质量缺陷探测仪6、检测探头6-1、检测针6-1-1、支撑板7、滑动块8、刻度尺9、指针10。

具体实施方式：

如图1和图2所示，硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置，其包括底座1、物料固定座2、固定杆3、导向机构4、滑动梁5和质量缺陷探测仪6，质量缺陷探测仪6可以是电阻检测装置或射线检测装置，目前正在使用的是苏州晶格电子有限公司生产的M-3手持式电阻率测试仪，用于测试单晶硅电阻；在底座1顶部固定设有物料固定座2，物料固定座2包括四块竖直设置的挡板2-1，四块挡板2-1依次首尾相接呈口字型结构；在任意三块挡板2-1上均垂直螺接有两个螺栓2-2；通过调节各个螺栓2-2在对应挡板2-1上的螺接位置可以使物料固定座2适用于固定不同尺寸的硅棒；且通过螺栓2-2夹持硅棒来代替人工扶持，可以解决测试过程中因硅棒发生倾斜而引起读数不准确的问题；没有螺接螺栓2-2的挡板2-1相对于刻度尺9垂直设置，且其内壁与刻度尺9上的零刻度线在一个平面上；