[实用新型]一种板式PECVD用石墨载板有效
| 申请号： | 201621373565.5 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN206312876U | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 徐少杰 | 申请（专利权）人： | 百力达太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 翁若莹,王婧 |
| 地址： | 314500 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 板式 pecvd 石墨 | ||
【权利要求书】：
1.一种板式PECVD用石墨载板，其特征在于，包括石墨载板本体(1)，石墨载板本体(1)上设有多个石墨框(2)，石墨框(2)中固定有至少一个石墨条(3)。
2.如权利要求1所述的板式PECVD用石墨载板，其特征在于，所述的石墨条(3)通过卡针(5)和垫片(6)固定在石墨框(2)中，石墨框(2)、垫片(6)和石墨条(3)上皆设有孔(4)，卡针(5)依次穿过石墨框(2)、垫片(6)和石墨条(3)上的孔(4)。
3.如权利要求1所述的板式PECVD用石墨载板，其特征在于，相邻的石墨条(3)通过卡针(5)和垫片(6)相互固定。
4.如权利要求2或3所述的板式PECVD用石墨载板，其特征在于，所述的卡针(5)为U形，石墨条(3)的上、下两边中部各设有至少两个孔(4)，卡针(5)的两端能够同时穿过同一石墨条(3)上、下两边中部的两个孔(4)，石墨条(3)的左右两端各设有一个孔(4)，卡针(5)的两端能够同时穿过相邻石墨条(3)的端部的孔(4)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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