[实用新型]一种伺服控制高精度对位旋转平台

权利要求书

1.一种伺服控制高精度对位旋转平台，其特征在于，包括：底座、X补正模块、Y补正模块和θ补正模块，所述X补正模块设置于底座上，所述Y补正模块设置于X补正模块上，所述θ补正模块设置于Y补正模块上；

所述X补正模块包括：X向补正底座、伺服马达A、丝杆组件A、连接块A，所述X向补正底座通过滑块与X向直线导轨设置于底座上，所述伺服马达A设置于底座的一侧，所述伺服马达A的主轴连接丝杆组件A，所述丝杆组件A处设置有连接块A，所述连接块A连接至X向直线导轨对应的滑块；

所述Y补正模块包括：Y向补正底座、伺服马达B、丝杆组件B、连接块B，所述Y向补正底座通过滑块与Y向直线导轨设置于X向补正底座上，所述Y向直线导轨垂直于X向直线导轨，所述伺服马达B设置于底座的一侧，所述伺服马达B的主轴连接丝杆组件B，所述丝杆组件B处设置有连接块B，所述连接块B连接至Y向直线导轨对应的滑块；

所述θ补正模块包括：DD旋转马达和θ补正平台，所述DD旋转马达设置于Y向补正底座上，所述θ补正平台设置于DD旋转马达上。

2.根据权利要求1所述的一种伺服控制高精度对位旋转平台，其特征在于，所述丝杆组件A的一端通过联轴器A连接至伺服马达A的主轴，所述联轴器A固定于固定块A处，所述固定块A固定于底座上，所述丝杆组件A的另一端设置有限位块A，所述连接块A设置于联轴器A与限位块A之间。

3.根据权利要求1所述的一种伺服控制高精度对位旋转平台，其特征在于，所述丝杆组件B的一端通过联轴器B连接至伺服马达B的主轴，所述联轴器B固定于固定块B处，所述固定块B固定于底座上，所述丝杆组件B的另一端设置有限位块B，所述连接块B设置于联轴器B与限位块B之间。

4.根据权利要求1所述的一种伺服控制高精度对位旋转平台，其特征在于，所述丝杆组件A和丝杆组件B均采用研磨级滚珠丝杆。